[發明專利]多晶硅生產過程中的三氯氫硅分離提純系統及操作方法

有效

• 申請號: 200910068556.3
• 申請日: 2009-04-21
• 公開（公告）號: CN101538044A
• 公開（公告）日: 2009-09-23
• 發明（設計）人: 黃國強;王紅星;劉雪艷;華超;李鑫鋼
• 申請（專利權）人: 天津大學
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107;B01D3/14
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所
• 代理人: 王 麗

1.一種多晶硅生產過程中的三氯氫硅分離的系統，由精餾工段和回收精制工段組成；其特征是精餾工段有六個塔，回收精制工段有三個塔；精餾工段六個塔連接方式是依次由脫輕一塔、脫輕二塔、脫重塔、再脫輕塔、再脫重一塔和再脫重二塔連接；回收精制工段三個塔連接方式依次由脫低塔、脫高塔和產品精制塔連接。

2.如權利要求1的系統，其特征是含雜質的三氯氫硅原料液，由原料罐進入脫輕一塔，脫輕一塔與脫輕二塔串聯進行脫輕；脫輕后的三氯氫硅進入脫重塔進行脫重，脫重后的三氯氫硅進入再脫輕塔進行再脫輕，再脫輕塔的塔頂產品返回到原料罐；再脫輕塔塔釜得到的較高純度的三氯氫硅進入再脫重一塔，再脫重一塔與再脫重二塔串聯進行再脫重，在再脫重一塔塔頂得到高純三氯氫硅產品，再脫重二塔塔釜含微量重組分的三氯氫硅返回到原料罐；來自還原、氫化尾氣回收工段的物料，進入脫低塔進行脫輕，脫低后的產品送到脫高塔進行脫高提純，脫高后的塔頂產品進入產品精制塔進一步脫去微量重組分，在產品精制塔頂得到高純三氯氫硅產品，精制塔釜液返回原料罐。

3.權利要求1或2的系統的操作方法，其特征是脫輕一塔塔頂壓力為150KPa～300KPa，塔頂溫度為48～85℃，回流比為45.0～135.0，脫輕二塔塔頂壓力為150KPa～300KPa，塔頂溫度為55～90℃，脫輕一塔和脫輕二塔理論級數共為100～190。

4.權利要求1或2的系統的操作方法，其特征是脫重塔塔頂壓力為150KPa～300KPa，塔頂溫度為52～85℃，回流比為5.0～15.0，脫重塔塔理論級數為50～100。

5.權利要求1或2的系統的操作方法，其特征是再脫輕塔塔頂壓力為150KPa～300KPa，塔頂溫度為54～87℃，回流比為70.0～130.0，再脫輕塔理論級數為40～90。

6.權利要求1或2的系統的操作方法，其特征是再脫重一塔塔頂壓力為150KPa～300KPa，塔頂溫度為60～82℃，回流比為10.0～30.0，再脫重二塔塔頂壓力為150KPa～300KPa，塔頂溫度為52～80℃，再脫重一塔和再脫重二塔理論級數共為80～130。

7.權利要求1或2的系統的操作方法，其特征是脫低塔塔頂壓力為150KPa～300KPa，塔頂溫度為50～78℃，回流比為40.0～75.0，脫低塔塔理論級數為40～80。

8.權利要求1或2的系統的操作方法，其特征是脫高塔塔頂壓力為150KPa～300KPa，塔頂溫度為55～82℃，回流比為5.0～15.0，脫高塔塔理論級數為40～80。

9.權利要求1或2的系統的操作方法，其特征是產品精制塔塔頂壓力為150KPa～300KPa，塔頂溫度為55～82℃，回流比為5.0～15.0，產品精制塔理論級數為40～80。