[發明專利]一種聚酰亞胺塑料襯底柔性硅基薄膜太陽電池集成組件的制造方法

無效

• 申請號: 200910068278.1
• 申請日: 2009-03-27
• 公開（公告）號: CN101510575A
• 公開（公告）日: 2009-08-19
• 發明（設計）人: 耿新華;張建軍;倪牮;陳新亮;繁正海;薛俊明;侯國付;趙穎
• 申請（專利權）人: 南開大學
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/02
• 代理公司: 天津佳盟知識產權代理有限公司
• 代理人: 侯 力

1.一種聚酰亞胺塑料襯底柔性硅基薄膜太陽電池集成組件的制造方法，其特征在于步驟如下：

1)以普通玻璃為載體，將聚酰亞胺漿體刮涂在玻璃載體上，在80℃溫度下進行固化然后在200℃溫度下進行化學亞胺化，形成玻璃-聚酰亞胺薄膜復合襯底，聚酰亞胺薄膜厚度為20μm～100μm，在可見光范圍內的透過率大于80％，真空中可以耐受200℃的高溫烘烤；

2)采用濺射或金屬有機化學氣相淀積方法，在玻璃-聚酰亞胺薄膜復合襯底上低溫制備氧化鋅透明導電薄膜前電極，襯底溫度為100-200℃，氧化鋅薄膜的厚度為500nm-1000nm，電阻率為10^-3～10^-4S/cm；

3)采用YAG激光器切割上述氧化鋅透明導電薄膜；

4)在玻璃-聚酰亞胺-氧化鋅襯底基片上，采用玻璃襯底硅基薄膜太陽電池的工藝制備pin型硅基薄膜電池，pin型硅基薄膜電池為單結結構、雙結疊層結構或三結疊層結構；

5)采用倍頻YAG激光器切割上述硅基薄膜電池；

6)采用真空蒸鍍或濺射的方法制備鋁或銀金屬背電極；

7)采用倍頻YAG激光器切割金屬背電極，形成集成電池組件；

8)分別從集成組件的正極和負極引線，然后采用乙烯—醋酸乙烯共聚物膜和柔性耐候聚酯膜對集成組件進行封裝；

9)將封裝好的集成電池組件放在水中浸泡5分鐘～20分鐘，然后將電池組件從玻璃臨時載體上剝離，即可制得聚酰亞胺塑料襯底柔性硅基薄膜太陽電池集成組件。