[發明專利]空心光束泵浦垂直外腔面發射半導體激光器

無效

• 申請號: 200910067012.5
• 申請日: 2009-05-26
• 公開（公告）號: CN101567520A
• 公開（公告）日: 2009-10-28
• 發明（設計）人: 王曉華;王菲;劉向南;薄報學;劉國軍;高欣;徐莉;曲軼;戚偉佳;翁永超;周煌
• 申請（專利權）人: 長春理工大學
• 主分類號: H01S5/183
• 分類號: H01S5/183;H01S5/14;H01S3/0941;H01S5/04
• 代理公司: 長春科宇專利代理有限責任公司
• 代理人: 馬守忠

1.空心光束泵浦垂直外腔面發射半導體激光器，其特征在于，其由半導體激光器(1)、傳輸光纖(2)、準直透鏡(3)、卡塞格林望遠系統(4)、耦合透鏡(5)、分光棱鏡(6)、外腔面發射外延片(7)、銅熱沉(8)和輸出鏡(9)組成；所述的半導體激光器(1)發出的泵浦激光束經過傳輸光纖(2)輸出，準直透鏡(3)將光纖輸出的激光束進行準直，卡塞格林望遠系統(4)將準直后的光束變換成空心光束再經過耦合透鏡(5)進行聚焦，聚焦光經過分光棱鏡(6)入射到外腔面發射外延片(7)上進行泵浦激勵；外腔面發射外延片(7)受到激勵后產生的熒光在外腔面發射外延片(7)的布拉格反射鏡、分光棱鏡(6)的傾斜面和輸出鏡(9)間振蕩形成激光輸出；

所述的卡塞格林望遠系統(4)由一片凸面反射鏡和一片中空的凹面反射鏡組成，入射到凸面反射鏡上的光束發散后被凹面反射鏡反射輸出形成空心光束；

所述的分光棱鏡(6)是兩個等腰直角棱鏡組成的正方體，對泵浦激光束的透過率高于99％，兩個等腰直角棱鏡分界面對45度入射激射熒光高反射；

所述的外腔面發射外延片(7)由襯底(11)、緩沖保護層(12)、窗口層(13)、壘區(14)、量子阱有源區(15)和布拉格反射鏡(16)構成；所述的襯底(11)上依次分子束外延法生長緩沖保護層(12)、窗口層(13)、壘區(14)、量子阱有源區(15)、壘區(14)和布拉格反射鏡(16)；所述的量子阱有源區(15)選擇應變補償量子阱結構，每個周期都生長一層壘區用于對泵浦光的吸收，量子阱處于1/2波長的整數倍處，生長多個周期，量子阱數量為3-15個；布拉格反射鏡(16)采用25對以上1/4波長厚度高低折射率材料交替結構；

所述的外腔面發射外延片(7)的出光表面鍵合透明金剛石膜(10)，背面鍵合在銅熱沉(8)上。