[發(fā)明專利]一種三氯氫硅合成尾氣的干法回收方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910065894.1
• 申請(qǐng)日: 2009-08-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101638233A
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-02-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 嚴(yán)大洲;肖榮暉;毋克力;杜俊平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 洛陽(yáng)中硅高科技有限公司
• 主分類號(hào): C01B33/107
• 分類號(hào): C01B33/107;C01B7/01
• 代理公司: 洛陽(yáng)市凱旋專利事務(wù)所
• 代理人: 符繼超

1.一種三氯氫硅合成尾氣的干法回收方法，其特征在于：該干法回收方法是將加壓冷凝后的三氯氫硅合成尾氣送入緩沖罐，保持緩沖罐的壓力在0.3～0.8MPa；吸附系統(tǒng)由并聯(lián)的兩臺(tái)吸附塔構(gòu)成，其中一臺(tái)吸附塔中的吸附劑處于吸附狀態(tài)，另一臺(tái)吸附塔中的吸附劑處于再生狀態(tài)，兩臺(tái)吸附塔分別配備有各自的進(jìn)、出口控制閥門(mén)，吸附劑均為活性炭；從緩沖罐出來(lái)的合成尾氣通過(guò)吸附狀態(tài)吸附塔下部設(shè)置的控制閥門(mén)進(jìn)入到該吸附塔內(nèi)，此時(shí)吸附塔內(nèi)的壓力與緩沖罐的壓力保持一致同為0.3～0.8MPa，吸附塔內(nèi)的溫度控制在20～80℃，合成尾氣在吸附塔內(nèi)自下而上流動(dòng)，合成尾氣中的大量氯硅烷被吸附劑吸附，H₂和HCl的混合氣體從吸附塔頂部的氣體出口控制閥門(mén)排出到吸附袋式過(guò)濾器中過(guò)濾，過(guò)濾除去粉塵后進(jìn)入回收氣體緩沖罐，回收氣體緩沖罐的壓力也保持在0.3～0.8MPa；回收氣體緩沖罐的H₂和HCl混合氣體，一部分通過(guò)控制閥門(mén)和管道被輸送到氯化氫合成系統(tǒng)，一部分通過(guò)控制閥門(mén)和管道被輸送到吸附系統(tǒng)中處于再生狀態(tài)的吸附塔內(nèi)進(jìn)行再生吸附，再生狀態(tài)的吸附塔溫度控制在100～200℃，同時(shí)降低塔內(nèi)壓力至0.01～0.15MPa，H₂和HCl的混合氣體在吸附塔內(nèi)自上而下流動(dòng)，在高溫低壓狀態(tài)下，促使被吸附的氯硅烷從吸附劑中解析出來(lái)，從而使吸附劑獲得再生，解析出來(lái)的氯硅烷和H₂、HCl混合氣體從再生吸附塔下部控制閥門(mén)出來(lái)進(jìn)入到再生袋式過(guò)濾器中過(guò)濾，過(guò)濾除去粉塵后由合成尾氣加壓冷凝系統(tǒng)回收。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三氯氫硅合成尾氣的干法回收方法，其特征在于：吸附系統(tǒng)兩臺(tái)并聯(lián)吸附塔中的吸附劑狀態(tài)通過(guò)時(shí)間控制程序進(jìn)行周期性輪換，也就是說(shuō)處于再生狀態(tài)的吸附塔通過(guò)降溫和升壓過(guò)渡到吸附狀態(tài)的吸附塔，這是由于再生狀態(tài)吸附塔的吸附劑解析后的再生工藝是在高溫、低壓狀態(tài)下進(jìn)行，吸附狀態(tài)吸附塔的吸附劑吸附工藝是在低溫、高壓狀態(tài)下進(jìn)行，通過(guò)降溫和升壓將再生狀態(tài)的吸附塔過(guò)渡到吸附狀態(tài)的吸附塔，降溫溫度控制在20～80℃，升壓壓力控制在0.3～0.8MPa。