[發(fā)明專利]大偏角籽晶的加工方法無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200910064345.2 | 申請(qǐng)日: | 2009-03-09 |
| 公開(公告)號(hào): | CN101537666A | 公開(公告)日: | 2009-09-23 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 李百泉;陳堅(jiān)邦;李闖 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 新鄉(xiāng)市神舟晶體科技發(fā)展有限公司 |
| 主分類號(hào): | B28D5/00 | 分類號(hào): | B28D5/00 |
| 代理公司: | 新鄉(xiāng)市平原專利有限責(zé)任公司 | 代理人: | 馬既森 |
| 地址: | 453000河南省新鄉(xiāng)市衛(wèi)濱*** | 國(guó)省代碼: | 河南;41 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說(shuō)明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 偏角 籽晶 加工 方法 | ||
1、大偏角籽晶的加工方法,其特征在于:首先選取比較完整、電學(xué)參數(shù)好的水平砷化鎵單晶錠,在單晶錠的頭部先確定出(111)晶面,在晶面上根據(jù)晶向要求確定偏角值,然后用(331)衍射角衍射,根據(jù)所需長(zhǎng)度切割出單晶塊,再用環(huán)氧樹脂把截取的單晶段晶頭朝上粘接在底部粘固有金屬塊的石墨板上,粘貼后切片定向(211)晶面的偏差角度,用(311)衍射角衍射,根據(jù)所需高度切割,然后將單晶塊旋轉(zhuǎn)90°,定準(zhǔn)(110)晶面的偏差角為零度時(shí)切割出所需寬度,然后進(jìn)行清洗即可。
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