[發明專利]晶體碎料拉制硅芯的方法及簡易裝置

無效

• 申請號: 200910064105.2
• 申請日: 2009-01-20
• 公開（公告）號: CN101498033A
• 公開（公告）日: 2009-08-05
• 發明（設計）人: 劉朝軒
• 申請（專利權）人: 劉朝軒
• 主分類號: C30B15/24
• 分類號: C30B15/24;C30B29/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1、一種晶體碎料拉制硅芯的簡易裝置，包括用于融化晶體碎料(6)的坩堝(5)和加熱套(7)；用于對仔晶(2)降溫的導模(3)結構，其特征在于：所述用于融化晶體碎料(6)的坩堝(5)和加熱套(7)，包括坩堝(5)、加熱套(7)、坩堝支撐體(8)，所述坩堝(5)的外部設有加熱套(7)，坩堝(5)與加熱套(7)之間留有3-10公分的距離，在坩堝(5)的下部設有坩堝支撐體(8)，所述坩堝(5)的內表面上部設置有導模支撐(4)；所述用于對仔晶(2)降溫的導模(3)結構，所述的導模(3)放置在導模支撐(4)上，導模為一平板結構，在導模(3)的中部設有向下延伸至接近坩堝(5)的仔晶提拉管。

2、如權利要求1所述的晶體碎料拉制硅芯的簡易裝置，其特征在于：在導模(3)中部設置的仔晶提拉管為至少一個。

3、如權利要求1所述的晶體碎料拉制硅芯的簡易裝置，其特征在于：所述坩堝(5)內表面上部設置的導模支撐(4)或設置為坩堝(5)的內表面環形臺階，所述的環形臺階為導模支撐(4)。

4、如權利要求1或3所述的晶體碎料拉制硅芯的簡易裝置，其特征在于：坩堝(5)與導模支撐(4)可設置為一體。

5、如權利要求1或2所述的晶體碎料拉制硅芯的簡易裝置，其特征在于：導模(3)與仔晶提拉管可設置為一體。

6、根據權利要求1～5任一所述的晶體碎料拉制硅芯的方法，其特征在于：

所述的晶體碎料拉制硅芯的方法包括如下步驟：

A、將晶體碎料(6)的雜質清除干凈；

B、把干凈晶體碎料(6)放入坩堝(5)內，晶體碎料(6)的高度不得超出導模支撐(4)的上表面，并將晶體碎料(6)平整壓實，然后將導模(3)的仔晶提拉管下壓，導模(3)的仔晶提拉管下壓至導模(3)與導模支撐(4)連接為宜；所述坩堝支撐體8保持坩堝(5)的獨立，坩堝(5)與加熱套7之間保持3-10公分的距離，以便防止加熱套7出現接近坩堝(5)后局部晶體碎料(6)過熱；

C、接通加熱套(7)電源，利用加熱套(7)對坩堝(5)進行加熱，至坩堝(5)內的晶體碎料(6)融化，所述的晶體碎料(6)融化，應根據晶體碎料(6)的不同來設置溫度；以多晶硅為例，多晶硅的晶體碎料(6)融化溫度在1800°左右，所以以坩堝(5)的1800°融化點為宜并保持，坩堝(5)內的晶體碎料(6)融化為液體；

D、仔晶夾頭(1)帶著仔晶(2)下降，仔晶(2)穿過導模(3)中部的仔晶提拉管接近并插入熔化的晶體碎料(6)液體中，然后提升仔晶(2)，坩堝(5)內熔化的晶體碎料6液體會跟隨仔晶(2)上升，仔晶(2)脫離仔晶提拉管后結晶；

E、通過上述步驟晶體碎料6液體便形成了一個新的柱型晶體，其仔晶夾頭(1)夾帶仔晶(2)緩慢上升，便可形成所需長度的成品硅芯；