[發明專利]一種白光干涉光學輪廓儀

無效

• 申請號: 200910061658.2
• 申請日: 2009-04-14
• 公開（公告）號: CN101625231A
• 公開（公告）日: 2010-01-13
• 發明（設計）人: 王淑珍;常素萍;王生懷;謝鐵邦;劉曉軍
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G01B11/25
• 代理公司: 華中科技大學專利中心
• 代理人: 曹葆青

1.一種白光干涉光學輪廓儀，包括垂直方向宏微二級驅動及位移計量裝置和白光干涉位移傳感器，其特征在于：白光干涉位移傳感器固定在垂直方向宏微二級驅動及位移計量裝置上，垂直方向宏微二級驅動及位移計量裝置固定在立柱(26)上，立柱(26)固定在隔振臺面(5)上；萬能工作臺放置在隔振臺面(5)上；

萬能工作臺(4)包括工作臺底座(41)、平衡彈簧(42)、鎖緊螺母(43)、關節軸承(44)、回轉軸(45)、旋轉載物臺(46)、端蓋(47)、基座(48)、鋼球(49)和直線電機(50)；

基座(48)固定在工作臺底座(41)上，回轉軸(45)的一端置于基座(48)內孔中，另一端與旋轉載物臺(46)固定連接，端蓋(47)、關節軸承(44)和鎖緊螺母(43)自上至下依次安裝在回轉軸(45)上；平衡彈簧(42)一端與回轉軸(45)的底部連接，另一端安裝在基座(48)上；直線電機的驅動桿(50)和平衡彈簧(42)分別位于回轉軸(45)底部的兩側。

2.根據權利要求1所述的白光干涉光學輪廓儀，其特征在于：垂直方向宏微二級驅動包括伺服電機(10)、電機連接板(12)、聯軸器(14)、螺母(18)、柔性連接器(19)、滾珠絲杠(20)、第一連接塊(21)、第一導軌(22)、第二導軌(23)、底板(24)、柔性鉸鏈(25)、第三導軌(28)、壓電陶瓷(29)、第四導軌(31)；位移計量裝置包括衍射光柵計量系統(27)；

底板(24)固定在立柱(26)上；電機連接板(12)固定在底板(24)下端一側，伺服電機(10)固定在電機連接板(12)的下部；伺服電機(10)的輸出軸固定在聯軸器(14)內的一端，滾珠絲杠(20)固定在聯軸器(14)內的另一端；螺母(18)安裝在滾珠絲杠(20)上，并且螺母(18)位于柔性連接器(19)內，第一連接塊(21)的一端與柔性連接器(19)的一端部相連，第一連接塊(21)的另一端部連接在第二導軌(23)上；

第一導軌(22)、第二導軌(23)、第三導軌(28)、第四導軌(31)分別固定在底板(24)的兩側，在第一導軌(22)、第二導軌(23)之間和第三導軌(28)、第四?導軌(31)之間分別裝有鋼珠；柔性鉸鏈(25)的兩邊分別固定在第二導軌(23)和第四導軌(31)上；

第二、第三連接塊(52、53)分別固定在底板(24)的兩邊，第一導軌(22)固定在第二連接塊(52)內側，第四導軌(31)固定在第三連接塊(53)內側；

壓電陶瓷(29)安裝在柔性鉸鏈(25)內；衍射光柵計量系統(27)安裝在底板(24)的上端，光柵移動桿(51)安裝在柔性鉸鏈(25)動塊的運動中心線上；

所述白光干涉位移傳感器固定在柔性鉸鏈(25)的動塊上。