[發明專利]一種以渦旋式壓縮機為核心的氦氣壓縮凈化機組

有效

• 申請號: 200910060355.9
• 申請日: 2009-08-17
• 公開（公告）號: CN101655305A
• 公開（公告）日: 2010-02-24
• 發明（設計）人: 陳勇
• 申請（專利權）人: 成都黃金地真空技術開發有限公司
• 主分類號: F25J3/00
• 分類號: F25J3/00
• 代理公司: 四川省成都市天策商標專利事務所
• 代理人: 馬林中

技術領域

本發明涉及低溫泵配套輔助裝置，具體的說是一種以渦旋式壓縮機為核心的氦氣壓縮凈化機組。

背景技術

目前，電子制造領域內低溫泵的使用日益普及，而與其配套使用的小型氦氣壓縮凈化機組還主要是以活塞式或轉子式的壓縮機為核心，其主要通過其內部的噴油裝置噴油帶走氦氣中的熱量；上述兩種壓縮機雖然也是作為氦氣壓縮凈化機組的核心完成氦氣壓縮的過程，但是活塞式或轉子式的壓縮機都存在運動死點，而油是不可壓縮的，如果油注入多了，會發生撞缸，所以供油有嚴格限量，造成噴油冷卻系統復雜，體積較大，能耗高，另一個問題就是噴油少，吸收的熱量就少，排氣溫度就高，對設備有一定影響，且在作業時所產生的噪音和振動都很大，使用受場合限制，以致間接制約了低溫泵在電子制造領域以及其他領域中的廣泛應用。

渦旋式壓縮機的設計獨特，使其迅速成為當今世界上所公認的節能壓縮機，也是繼活塞式壓縮機與轉子式壓縮機后的第三代壓縮機，最早是應用在空調或冰箱上壓縮氟利昂，其能連續完成吸氣、壓縮、排氣三個過程；相比活塞式和轉子式有很多優點，在氦氣壓縮的過程中，由于不存在死隙，壓縮過程中能加大噴油量，這樣大大簡化噴油冷卻系統，其主要運行件渦盤是齪合且不存在磨損，因而其壽命更長，被譽為是免維修的壓縮機，加上其結構新穎，體積較小，噪音低、能效高的優點，使其可廣泛應用于各個領域。

發明內容

本發明的目的在于解決上述不足，提供一種占地面積小，能耗低的一種以渦旋式壓縮機為核心的氦氣壓縮凈化機組。

為解決上述的技術問題，本發明采用以下技術方案：

本發明的以渦旋式壓縮機為核心的氦氣壓縮凈化機組，包括低壓平衡器、渦旋式壓縮機、冷卻器、噴油冷卻系統、油氣分離器與吸附器，低壓平衡器出氣端的管道分岔后，分別通過第一管道與渦旋式壓縮機的進氣端連通，通過第二管道與油氣分離器的出油端相連通；渦旋式壓縮機的進油端與冷卻器的出油端通過第四管道連通；渦旋式壓縮機的出氣端與冷卻器的進氣端通過第五管道相連通；渦旋式壓縮機的出油端與冷卻器的進油端通過第三管道相連通；冷卻器的出氣端與油氣分離器的進氣端通過第六管道連通；油氣分離器的出氣端與吸附器的進氣端通過第七管道連通。

上述的以渦旋式壓縮機為核心的氦氣壓縮凈化機組，所述第一管道、第五管道、第六管道與第七管道為氣管，第二管道、第三管道與第四管道為油管。

更進一步的技術方案是：所述低壓平衡器的進氣端上有低壓進氣自封接頭；低壓平衡器出氣端的所述管道上在分岔前安裝有壓力表。

上述的以渦旋式壓縮機為核心的氦氣壓縮凈化機組所述的冷卻器上有出水接頭與進水接頭，進水接頭上裝有水壓保護繼電器。

上述的以渦旋式壓縮機為核心的氦氣壓縮凈化機組，所述油氣分離器上裝有安全閥，作為整個機組的保險裝置，當油氣分離器中壓力超過最大限度時自動瀉壓；第二管道上裝有小孔過濾器用以隔絕油氣分離器中氦氣的壓力；第七管道上裝有壓力表，通過兩個壓力表可觀察整個機組的壓力狀態。

上述的以渦旋式壓縮機為核心的氦氣壓縮凈化機組，所述的第一管道與第七管道之間還連接有一條管道，管道上裝有溢流閥，以平衡氣管中氦氣的壓力。

本發明還可以，所述的噴油冷卻系統包括油冷卻器和油過濾器及通過冷卻油管連通渦旋式壓縮機上部的注油組件；冷卻油管的另外一端與渦旋式壓縮機下部的出油口連通。

上述的以渦旋式壓縮機為核心的氦氣壓縮凈化機組，所述的油冷卻器包括有安裝在油冷卻器下部的冷卻水進口和安裝在油冷卻器上部的冷卻水出口。

上述的以渦旋式壓縮機為核心的氦氣壓縮凈化機組，所述的第四管道上裝有油液過濾器，以防止固體顆粒進入渦旋式壓縮機；冷卻器由油冷卻器和油氣冷卻器所組成的二合一冷卻器。

上述的以渦旋式壓縮機為核心的氦氣壓縮凈化機組，所述吸附器的進氣端與出氣端上分別裝有高壓進氣自封接頭與高壓出氣自封接頭，且高壓進氣自封接頭上裝有氣體高壓保護繼電器作為整個機組的高壓保護裝置。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：氦氣經過渦旋式壓縮機、油氣分離器與吸附器三次過濾，保證了機組過濾出的氦氣的純凈度，作為核心的渦旋式壓縮機具備了體積小，噪音低，能效高的優點，可以有效壓縮氦氣，并噴油帶走氦氣中的熱量，且結構簡單，在油過濾器的作用下，可以過濾掉噴油中的固體雜質，延長壓縮機的使用壽命，從而間接使整個機組效率提高，且其占地面積小，并有效的保證了整個機組工作的穩定性，同時機組中具有多個安全控制器，可脫離人工看管，自動化程度高，應用范圍廣。

附圖說明