[發明專利]一種大面積MEMS膜片型氣體富集器

有效

• 申請號: 200910059654.0
• 申請日: 2009-06-18
• 公開（公告）號: CN101625345A
• 公開（公告）日: 2010-01-13
• 發明（設計）人: 杜曉松;夏樂洋;蔣亞東;胡佳
• 申請（專利權）人: 電子科技大學
• 主分類號: G01N30/08
• 分類號: G01N30/08;B81B7/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種MEMS膜片型氣體富集器，包括一個硅基板、一個頂蓋和設置在硅基板 和頂蓋之間的富集區，所述頂蓋設置有進氣口和出氣口，所述硅基板構成為通過 反應離子刻蝕技術刻蝕硅基底形成的硅邊框和硅框架，其特征在于，所述富集區 由4個以上富集單元構成，每個富集單元具有一個懸空膜片以及設置在懸空膜片 上的薄膜加熱器和吸附薄膜，所有懸空膜片連成一整體膜片，整體膜片置于所述 硅基板上，所述硅基板通過硅邊框和硅框架在對應每個富集單元的下方都設置一 個面積為2mm×2mm的空腔。

2.根據權利要求1所述的MEMS膜片型氣體富集器，其特征在于，所述富集單 元沿氣體流動方向分為直線型或者并列型或盤曲型，三者的排列方式如下：

①直線型：所有富集單元從進氣口逐個按照一條直線排列到出氣口；

②并列型：在進氣口處設置玻璃格柵，使氣流分配為若干個氣流通道，對應每個 氣流通道并列設置一排富集單元一直到出氣口；

③盤曲型：設置若干排整齊排列的富集單元，在排與排或者列與列之間設置玻璃 格柵，使氣流從進氣口到出氣口之間成盤曲狀流通。

3.根據權利要求1所述的MEMS膜片型氣體富集器，其特征在于，所述懸空膜 片材料采用氮化硅或二氧化硅。

4.根據權利要求1所述的MEMS膜片型氣體富集器，其特征在于，所述薄膜加 熱器由蛇形金屬薄膜構成，材料采用鉑、鈀、鎢、鉬、鉭及其合金。

5.根據權利要求1所述的MEMS膜片型氣體富集器，其特征在于，所述薄膜加 熱器由蛇形的N型硅或P型硅電阻條構成。