[發明專利]多溫段同時退火的真空退火裝置

無效

• 申請號: 200910059003.1
• 申請日: 2009-04-21
• 公開（公告）號: CN101532125A
• 公開（公告）日: 2009-09-16
• 發明（設計）人: 徐明;紀紅萱;董成軍
• 申請（專利權）人: 四川師范大學
• 主分類號: C23C14/58
• 分類號: C23C14/58;C23C14/34;C23C14/35
• 代理公司: 成都科海專利事務有限責任公司
• 代理人: 黃幼陵;馬新民

1.一種多溫段同時退火的真空退火裝置，包括真空箱體(1)、加熱爐(2)、溫度傳感器、溫度控制器，其特征在于還包括集熱罩(4)、集熱罩支架(3)、薄膜托盤(5)、托盤支撐桿(7)和托盤調節機構，托盤調節機構包括支座(9)、支撐架(11)、主調節螺桿(12)、調節架(13)、輔調節螺桿(14)、連接板(15)和托盤調節桿(6)；

加熱爐(2)放置在真空箱體(1)底部，集熱罩支架(3)環繞加熱爐設置，集熱罩(4)安裝在集熱罩支架(3)上；

支座(9)安裝在真空箱體(1)的頂板上，支撐架(11)安裝在支座(9)上，主調節螺桿(12)位于支撐架(11)和調節架(13)的螺孔中，托盤支撐桿(7)的上端固定在調節架(13)上，其下端穿過支座(9)和真空箱體頂板上的過孔伸入真空箱體內，薄膜托盤(5)至少為兩個，各薄膜托盤相隔一間距套裝在托盤支撐桿(7)下部段，托盤支撐桿(7)套裝有薄膜托盤的下部段位于集熱罩(4)內；

托盤調節桿(6)、連接板(15)、輔調節螺桿(14)和溫度傳感器(22)的數量與薄膜托盤(5)的數量相同，各托盤調節桿的上端分別固定在對應的連接板上，其下端穿過調節架(13)、支座(9)和真空箱體頂板上的過孔伸入真空箱體內并分別與對應的薄膜托盤連接，各輔調節螺桿分別位于調節架(13)和對應的連接板的螺孔中，各溫度傳感器分別安裝在對應的薄膜托盤上，其信號輸出端與溫度控制器連接；

所述支座(9)與真空箱體(1)的頂板之間設置有密封件，所述托盤支撐桿(7)和托盤調節桿(6)與支座(9)的過孔之間設置有密封件。

2.根據權利要求1所述的多溫段同時退火的真空退火裝置，其特征在于托盤支撐桿(7)上設置有階梯臺(8)，所述階梯臺上開設有與托盤調節桿(6)數量相同、位置對應的導向孔，各托盤調節桿穿過與其位置對應的導向孔。

3.根據權利要求1或2所述的多溫段同時退火的真空退火裝置，其特征在于調節架(13)為下板(17)、上板(18)和兩側板(19、20)組合而成的框架體。

4.根據權利要求1或2所述的多溫段同時退火的真空退火裝置，其特征在于集熱罩(4)內層用石墨石棉條制作，外層用硅橡膠制作。

5.根據權利要求3所述的多溫段同時退火的真空退火裝置，其特征在于集熱罩(4)內層用石墨石棉條制作，外層用硅橡膠制作。

6.根據權利要求1或2所述的多溫段同時退火的真空退火裝置，其特征在于薄膜托盤(5)上設置有薄膜夾持片(23)。

7.根據權利要求3所述的多溫段同時退火的真空退火裝置，其特征在于薄膜托盤(5)上設置有薄膜夾持片(23)。

8.根據權利要求4所述的多溫段同時退火的真空退火裝置，其特征在于薄膜托盤(5)上設置有薄膜夾持片(23)。

9.根據權利要求5所述的多溫段同時退火的真空退火裝置，其特征在于薄膜托盤(5)上設置有薄膜夾持片(23)。