[發明專利]一種風車型劃片槽的旋轉測試圖樣

有效

• 申請號: 200910057079.0
• 申請日: 2009-04-16
• 公開（公告）號: CN101866110A
• 公開（公告）日: 2010-10-20
• 發明（設計）人: 王雷
• 申請（專利權）人: 上海華虹NEC電子有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H01L21/66
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 王函

1.一種風車型劃片槽的旋轉測試圖樣，其特征是：所述旋轉測試圖樣為兩個鏡像對稱且互補的圖像。

2.根據權利要求1所述的一種風車型劃片槽的旋轉測試圖樣，其特征是：所述旋轉測試圖樣由4個圖形A1、A2、B1、B2產生，其中A1，A2產生其中一個圖像，B1，B2產生另一個圖像，其中A1和B1，A2和B2為鏡像對稱；在圖形屬性上，A1、B2圖形屬性相同，A2、B1圖形屬性相同，A1、B2與A2、B1圖形屬性相反。

3.根據權利要求2所述的一種風車型劃片槽的旋轉測試圖樣，其特征是：所述A1，A2，B1，B2為任意的中心對稱圖形或鏡像對稱圖形。

4.根據權利要求2所述的一種風車型劃片槽的旋轉測試圖樣，其特征是：所述A1和A2，B1和B2的關系為中心對稱圖形或鏡像對稱圖形。

5.根據權利要求2所述的一種風車型劃片槽的旋轉測試圖樣，其特征是：所述A1和A2，B1和B2的關系為非中心對稱圖形或非鏡像對稱圖形，且A1和A2，B1和B2相交。

6.根據權利要求3或4所述的一種風車型劃片槽的旋轉測試圖樣，其特征是：所述中心對稱圖形或鏡像對稱圖形為圓形、三角形或矩形。

7.根據權利要求1-5任一項所述的一種風車型劃片槽的旋轉測試圖樣，其特征是：所述兩個鏡像對稱且互補的圖像分別放置在風車型劃片槽的兩端。

8.根據權利要求7所述的一種風車型劃片槽的旋轉測試圖樣，其特征是：所述兩個鏡像對稱且互補的圖像放置在劃片槽上的位置必須保證曝光后在無曝光流程異常的情況下，A1和B1，A2和B2相交。