[發明專利]顆粒自動控制方法及系統

有效

• 申請號: 200910056727.0
• 申請日: 2009-08-20
• 公開（公告）號: CN101995852A
• 公開（公告）日: 2011-03-30
• 發明（設計）人: 王邕保
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418;H01L21/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李麗

1.一種顆粒自動控制方法，其特征在于，包括：

獲取晶圓表面或工藝環境中顆粒的特性值；

設置顆粒個數的允許上限值；

計算信號值，所述信號值與顆粒個數和顆粒個數的允許上限值有關聯；

根據信號值分析顆?？刂魄闆r，在任意四個連續信號值中有兩個為異常值，另外至少一個為中間值，判定為顆粒超標。

2.根據權利要求1所述顆粒自動控制方法，其特征在于，所述計算信號值的步驟分為：

計算正數其中X為顆粒個數，n為顆粒個數的允許上限值；

設置信號值所述2為異常值，1為中間值，0為正常值。

3.根據權利要求1所述顆粒自動控制方法，其特征在于，所述根據信號值分析顆粒控制情況是采用SPC軟件中WECO準則。

4.根據權利要求3所述顆粒自動控制方法，其特征在于，所述WECO準則設定μ±3σ為控制界限，其中，μ為所述產品的質量特性值的平均值，σ為所述產品的質量特性值的標準差。

5.根據權利要求4所述顆粒自動控制方法，其特征在于，所述控制界限μ±3σ之間的區域等分成六個分區域，所述六個分區域分別為μ+3σ與μ+2σ之間的第一區域A、μ-3σ與μ-2σ之間的第二區域A、μ+2σ與μ+σ之間的第一區域B、μ-2σ與μ-σ之間的第二區域B、μ+σ與μ之間的第一區域C和μ-σ與μ之間的第二區域C。

6.根據權利要求5所述顆粒自動控制方法，其特征在于，所述信號值Z＝2是位于第一區域A和第二區域A內的，信號值Z＝1是位于第一區域B和第二區域B內的，信號值Z＝0是位于第一區域C和第二區域C內的。

7.一種顆粒自動控制系統，其特征在于，包括：

獲取單元，獲取晶圓表面或工藝環境中顆粒的特性值；

設置單元，設置顆粒個數的允許上限值；

計算單元，計算信號值，所述信號值與顆粒個數和顆粒個數的允許上限值有關聯；

分析單元，根據信號值分析顆?？刂魄闆r，在任意四個連續信號值中有兩個為異常值，另外至少一個為中間值，判定為顆粒超標。

8.根據權利要求7所述顆粒自動控制系統，其特征在于，所述計算單元包括：

第一計算單元，計算正數其中X為顆粒個數，n為顆粒個數的允許上限值；

第一設置單元，設置信號值所述2為異常值，1為中間值，0為正常值。

9.根據權利要求7所述顆粒自動控制系統，其特征在于，所述分析單元為SPC軟件中WECO準則。

10.根據權利要求9所述顆粒自動控制系統，其特征在于，所述WECO準則設定μ±3σ為控制界限，其中，μ為所述產品的質量特性值的平均值，σ為所述產品的質量特性值的標準差。

11.根據權利要求10所述顆粒自動控制系統，其特征在于，所述控制界限μ±3σ之間的區域等分成六個分區域，所述六個分區域分別為μ+3σ與μ+2σ之間的第一區域A、μ-3σ與μ-2σ之間的第二區域A、μ+2σ與μ+σ之間的第一區域B、μ-2σ與μ-σ之間的第二區域B、μ+σ與μ之間的第一區域C和μ-σ與μ之間的第二區域C。

12.根據權利要求11所述顆粒自動控制系統，其特征在于，所述信號值Z＝2是位于第一區域A和第二區域A內的，信號值Z＝1是位于第一區域B和第二區域B內的，信號值Z＝0是位于第一區域C和第二區域C內的。