[發明專利]金屬接線端及其構造方法有效
| 申請號： | 200910055835.6 | 申請日： | 2009-08-03 |
| 公開（公告）號： | CN101989586A | 公開（公告）日： | 2011-03-23 |
| 發明（設計）人： | 曹程良;蔡麗燕;吳波 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/48 | 分類號： | H01L23/48;H01L23/495;H01L23/13;H01L21/48 |
| 代理公司： | 北京德琦知識產權代理有限公司 11018 | 代理人： | 謝安昆;宋志強 |
| 地址： | 201203 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 金屬 接線 及其 構造 方法 | ||
1.一種金屬接線端，所述金屬接線端由金屬銅框架溝槽結構內壁覆蓋的一層非銅的金屬材料構成，其特征在于，所述金屬接線端的開口為多邊形，金屬接線端至少有一邊的邊緣高于所述金屬銅框架表面10微米至200微米。
2.根據權利要求1所述的金屬接線端，其特征在于，所述高于金屬銅框架表面的金屬接線端邊緣與注塑工藝中熔化的塑料流動方向平行。
3.根據權利要求2所述的金屬接線端，其特征在于，與注塑工藝中熔化的塑料流動方向垂直的金屬接線端邊緣的高度與所述金屬銅框架相同。
4.根據權利要求1至3任一項所述的金屬接線端，其特征在于，所述金屬接線端的底部與金屬銅框架表面的距離大于或等于50微米。
5.一種金屬接線端，所述金屬接線端由金屬銅框架溝槽結構內壁覆蓋的一層金屬材料構成，其特征在于，所述金屬接線端的開口為多邊形，所述金屬銅框架在與所述金屬接線端至少一邊的邊緣鄰接處具有凹陷結構，所述凹陷底部和與之鄰接的金屬接線端邊緣的高度差為10微米至200微米。
6.根據權利要求5所述的金屬接線端，其特征在于，所述凹陷結構在與之鄰接的金屬接線端邊緣垂直方向的寬度大于100微米。
7.根據權利要求5所述的金屬接線端，其特征在于，與所述凹陷結構鄰接的金屬接線端邊緣與注塑工藝中熔化的塑料流動方向平行。
8.根據權利要求5、6或7所述的金屬接線端，其特征在于，所述金屬接線端的底部與所述凹陷結構底部之間的距離大于或等于50微米。
9.一種金屬接線端的構造方法，包括如下步驟：
在金屬銅框架表面構造溝槽結構，所述溝槽結構的開口為多邊形，在所述溝槽的內壁表面覆蓋一層非銅的金屬材料作為金屬接線端；
在金屬銅框架表面涂布光刻膠，對光刻膠進行顯影，去除與所述金屬接線端至少一邊的邊緣鄰接的光刻膠；
以所述光刻膠為掩膜對所述金屬銅框架進行蝕刻；
去除余下的光刻膠。
10.根據權利要求9所述的方法，其特征在于，所述對所述金屬銅框架進行蝕刻的深度為10微米至200微米。
11.根據權利要求10所述的方法，其特征在于，所述金屬銅框架被蝕刻部分的底部距金屬接線端的底部的距離大于或等于50微米。
12.根據權利要求9、10或11所述的方法，其特征在于，所述被去除的光刻膠在與之鄰接的金屬接線端邊緣垂直方向上的寬度大于100微米。
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