[發(fā)明專利]改善碳納米管薄膜場發(fā)射性能的方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200910055600.7 | 申請日: | 2009-07-30 |
| 公開(公告)號: | CN101615544A | 公開(公告)日: | 2009-12-30 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 徐東;趙波;陳長鑫;張亞非 | 申請(專利權(quán))人: | 上海交通大學(xué) |
| 主分類號: | H01J9/02 | 分類號: | H01J9/02;B82B3/00 |
| 代理公司: | 上海交達(dá)專利事務(wù)所 | 代理人: | 王錫麟;王桂忠 |
| 地址: | 200240*** | 國省代碼: | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 改善 納米 薄膜 發(fā)射 性能 方法 | ||
1、一種改善碳納米管薄膜場發(fā)射性能的方法,其特征在于,包括如下步驟:
步驟一,在平面基底上鍍覆金屬薄膜;
步驟二,在金屬薄膜上沉積碳納米管薄膜;
步驟三,超聲納米焊接金屬薄膜與碳納米管薄膜,得到場發(fā)射性能改善的碳納米管薄膜。
2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的改善碳納米管薄膜場發(fā)射性能的方法,其特征是,步驟一中,所述平面基底的材料為玻璃,硅片,陶瓷和金屬中的任意一種。
3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的改善碳納米管薄膜場發(fā)射性能的方法,其特征是,步驟一中,所述鍍覆選自以下方法中的任意一種:電子束蒸發(fā)法,磁控濺射法,氣相沉積法和化學(xué)鍍法。
4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的改善碳納米管薄膜場發(fā)射性能的方法,其特征是,步驟一中,所述金屬為W,Mo,Au,Ni,Ti,Cr,Pt和Pd中的任意一種。
5、根據(jù)權(quán)利要求1所述的改善碳納米管薄膜場發(fā)射性能的方法,其特征是,步驟二中,所述沉積選用以下方法中的任意一種:電泳沉積法,介電泳沉積法,靜電噴涂法,旋涂法,提拉法和LB法。
6、根據(jù)權(quán)利要求1所述的改善碳納米管薄膜場發(fā)射性能的方法,其特征是,步驟三中,所述超聲納米焊接具體為:使用金屬或陶瓷點(diǎn)陣焊頭,焊頭的面積為1~100mm2,焊點(diǎn)的尺寸為1~900μm2,超聲焊接頻率為60kHz,超聲能量為0.1~5J,壓力為0.2~0.4MPa,焊接時(shí)間為0.1~5秒。
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