[發明專利]一種快速測量鐵電薄膜印刻效應的方法有效
| 申請號： | 200910054686.1 | 申請日： | 2009-07-10 |
| 公開（公告）號： | CN101943721A | 公開（公告）日： | 2011-01-12 |
| 發明（設計）人： | 江安全;翁旭東 | 申請（專利權）人： | 復旦大學 |
| 主分類號： | G01R31/00 | 分類號： | G01R31/00 |
| 代理公司： | 上海正旦專利代理有限公司 31200 | 代理人： | 包兆宜 |
| 地址： | 20043*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 快速 測量 薄膜 印刻 效應 方法 | ||
1.一種快速測量鐵電薄膜印刻效應的方法，其特征在于，通過測量鐵電薄膜極化反轉電流計算矯頑電壓Vc，快速測量鐵電薄膜印刻效應；其包括下述形式的脈沖電壓施加方法：
(1)加一個產生印刻效應的脈沖電壓后，立刻再加一個與此印刻電壓相反極性的脈沖電壓并測量鐵電薄膜的反轉電流；
(2)加一個預置極化方向的脈沖電壓，等待一段弛豫時間后加一個起印刻作用的正負雙極性的脈沖電壓，再等待一段時間以產生印刻效應，最后加一個與之前正負雙極性脈沖電壓完全相同的正負雙極性電壓以測量反轉電流。
2.根據權利要求1所述的快速測量鐵電薄膜印刻效應的方法，其特征在于，所述的(1)中，所述印刻電壓大小為-10V至10V，所加時間為50納秒至100秒。
3.根據權利要求1所述的快速測量鐵電薄膜印刻效應的方法，其特征在于，所述的(1)中，所述測反轉電流的脈沖電壓大小為-10V至10V，所加時間為50納秒至10微秒。
4.根據權利要求1所述的快速測量鐵電薄膜印刻效應的方法，其特征在于，所述的(2)中，所述預置電壓的大小為-10V至10V，所加時間為50納秒至10微秒。
5.根據權利要求1所述的快速測量鐵電薄膜印刻效應的方法，其特征在于，所述的(2)中，所述弛豫時間為5秒至105秒。
6.根據權利要求1所述的快速測量鐵電薄膜印刻效應的方法，其特征在于，所述的(2)中，所述起印刻作用的正負雙極性脈沖電壓的大小為-10V至10V，脈沖時間為50納秒至10微秒。
7.根據權利要求1所述的快速測量鐵電薄膜印刻效應的方法，其特征在于，所述的(2)中，所述兩個正負雙極性脈沖電壓之間的產生印刻效應的時間為50納秒至100秒。
8.根據權利要求1所述的快速測量鐵電薄膜印刻效應的方法，其特征在于，所述的(2)中，所述測量反轉電流的正負雙極性脈沖電壓的大小為-10V至10V，脈沖時間為50納秒至10微秒。
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