[發明專利]一種激光擴束器參數的計算方法

有效

• 申請號: 200910054585.4
• 申請日: 2009-07-09
• 公開（公告）號: CN101604303A
• 公開（公告）日: 2009-12-16
• 發明（設計）人: 李仲禹
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G06F15/02
• 分類號: G06F15/02;G02B27/09
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈 蘅;李時云

1.一種激光擴束器參數的計算方法，自動計算出激光擴束器的參數，用以調整激光擴束器的間距，其中，激光擴束器包括點光源，負透鏡和正透鏡依次安放在點光源的一側，其特征是，上述計算方法包括：

測量光束發散角參數；

將上述光束發散角參數、擴束前光束尺寸以及擴束后光束尺寸輸入激光擴束計算器；以及

上述激光擴束計算器自動計算上述激光擴束器的參數，其中，上述擴束計算器包含鏡片庫，上述鏡片庫中儲存著不同數值，上述這些數值代表不同鏡片的焦距；

其中，上述激光擴束計算器自動計算上述激光擴束器的參數的步驟進一步包括：

在上述鏡片庫中任意選擇一個焦距為Fc的正透鏡；

根據公式

G=G0+δGα+δGθ=d0FCFA(1+αFA+ΘFA2d0FC)]]>和G0=d0FCFA*(1+αFA*+ΘFA*2d0FC)]]>

計算出與上述正透鏡匹配的一個負透鏡焦距FA^*，用以調整負透鏡的焦距調整負透鏡A的焦距根據公式

計算兩者之間的距離D，以得到了激光擴束器的參數Fc來調整正透鏡的位移使光束聚焦來補償光束的發散角；以及

根據公式Gmin=Lθfin=Lθd0G0]]>

計算出上述擴束器適用的傳輸距離L；

其中，G為擴束后的實際激光光斑大小；G₀為擴束后理想的激光光斑大小；δG_α為因激光存在相干發散角造成的光斑擴大的增量；δG_Θ為因激光存在非相干發散角造成的光斑擴大的增量；d₀為擴束前激光器出光口的光斑大?。沪翞橄喔晒馐l散角；Θ為非相干光束發散角；θ為激光光束總發散角；F_A和F_C為擴束器初始鏡片A和鏡片C的焦距；為調整后的鏡片A的焦距；D為透鏡A和C的間距；L為光斑從出射口到使用面的距離；G^min為距離擴束后距離出光口L距離外的光斑最小尺寸。