[發(fā)明專利]用霧狀化學(xué)劑進(jìn)行單面連續(xù)化學(xué)濕處理的系統(tǒng)及方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910054460.1
• 申請(qǐng)日: 2009-07-07
• 公開（公告）號(hào): CN101942661A
• 公開（公告）日: 2011-01-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 倪黨生
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 倪黨生
• 主分類號(hào): C23F1/08
• 分類號(hào): C23F1/08;B05B1/00;B01J19/26;H01L21/306
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司 31002
• 代理人: 鄧琪

1.一種用霧狀化學(xué)劑進(jìn)行單面連續(xù)化學(xué)濕處理的系統(tǒng)，包括可使加熱的氣體化學(xué)劑和液體化學(xué)劑產(chǎn)生霧狀化學(xué)劑的霧化器，若干個(gè)化學(xué)濕處理腔體單元，若干個(gè)去離子水噴淋濕處理腔體單元，以及異丙醇(IPA)取干處理腔體單元，以及將待處理材料依次送入各處理單元腔體內(nèi)的傳輸機(jī)構(gòu)，其特征在于，該系統(tǒng)還包括噴霧刀，該噴霧刀具有多個(gè)霧狀化學(xué)劑射口，噴射口中間設(shè)有毛細(xì)管，所述霧狀化學(xué)劑通過(guò)毛細(xì)管周邊的噴射口空間呈扇形噴射至待處理材料的表面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用霧狀化學(xué)劑進(jìn)行單面連續(xù)化學(xué)濕處理的系統(tǒng)，其特征在于，所述毛細(xì)管的截面直徑尺寸小于1mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用霧狀化學(xué)劑進(jìn)行單面連續(xù)化學(xué)濕處理的系統(tǒng)，其特征在于，所述霧化器與噴霧刀之間還帶有使霧狀化學(xué)劑保溫的加熱等溫裝置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的用霧狀化學(xué)劑進(jìn)行單面連續(xù)化學(xué)濕處理的系統(tǒng)，其特征在于，所述待處理材料是太陽(yáng)能電池或平板顯示器基片。

5.根據(jù)權(quán)利要求5所述的化學(xué)濕處理系統(tǒng)，其特征在于，所述傳輸機(jī)構(gòu)包括多組在垂直于傳輸方向相差1-3mm的錯(cuò)位滾輪，以及伺服電機(jī)和同步傳動(dòng)傘齒輪，同步傘齒輪帶動(dòng)多組錯(cuò)位滾輪同步旋轉(zhuǎn)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的用霧狀化學(xué)劑進(jìn)行單面連續(xù)化學(xué)濕處理的系統(tǒng)，其特征在于，所述待處理材料是太陽(yáng)能電池或平板顯示器薄膜襯底。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用霧狀化學(xué)劑進(jìn)行單面連續(xù)化學(xué)濕處理的系統(tǒng)，其特征在于，所述傳輸機(jī)構(gòu)包括多組且在垂直于傳輸方向相差1-3mm的錯(cuò)位滾輪，和分別位于處理腔室的上料端和下料端的卷繞軸和張緊輪，所述薄膜襯底置于卷繞軸上，由所述張緊輪驅(qū)動(dòng)帶動(dòng)錯(cuò)位滾輪同步旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)，所述張緊輪還帶有可自動(dòng)檢測(cè)及調(diào)節(jié)張力的傳感器。

8.一種如權(quán)利要求1所述的用霧狀化學(xué)劑進(jìn)行單面連續(xù)化學(xué)濕處理系統(tǒng)的濕處理方法，包括如下步驟：

(1)傳輸機(jī)構(gòu)將待處理材料依次送入各相應(yīng)化學(xué)濕處理單元腔體內(nèi)；

(2)對(duì)待處理材料進(jìn)行等溫處理；

(3)由加熱的化學(xué)氣體及液體化學(xué)劑在霧化器內(nèi)產(chǎn)生的霧狀化學(xué)劑，通過(guò)噴霧刀從元件的上方呈扇形左右/前后動(dòng)態(tài)噴射到待處理材料的上表面及周邊；該噴霧刀具有多個(gè)霧狀化學(xué)劑噴射口，噴射口中間設(shè)有毛細(xì)管；

(4)用純水或去離子水噴淋清洗基片；

(5)將異丙基酒精(IPA)通過(guò)所述噴霧刀從待處理材料的上方動(dòng)態(tài)均勻地掃射到待處理材料工藝面，；

(6)熱氮?dú)馔ㄟ^(guò)所述噴霧刀吹射到待處理材料上、下表面，干燥待處理材料。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用霧狀化學(xué)劑進(jìn)行單面連續(xù)化學(xué)濕處理的方法，其特征在于，所述毛細(xì)管的截面直徑尺寸小于1mm。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的用霧狀化學(xué)劑進(jìn)行單面連續(xù)化學(xué)濕處理的方法，其特征在于，由加熱的化學(xué)氣體和液體化學(xué)劑在霧化器內(nèi)產(chǎn)生霧狀化學(xué)劑包括：

加熱的化學(xué)氣體是臭氧氣體(O₃)，液體化學(xué)劑是氫氧化鈉(NaOH)；

和/或，加熱的化學(xué)氣體是臭氧氣體(O₃)，液體化學(xué)劑是氫氧化鉀(KOH)；

和/或，加熱的化學(xué)氣體是臭氧氣體(O₃)，液體化學(xué)劑是去離子水(H2O)；

和/或，加熱的化學(xué)氣體是氮?dú)怏w(N₂)，液體化學(xué)劑是加熱后低黏度的鍍膜劑；

和/或，加熱的化學(xué)氣體是臭氧氣體(O₃)，液體化學(xué)劑是硝酸/氫氟酸為主的混合酸(HNO₃+HF)；

和/或，加熱的化學(xué)氣體是臭氧氣體(O₃)，液體化學(xué)劑是硫酸為主的混合酸(H₂SO₄)。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的用霧狀化學(xué)劑進(jìn)行單面連續(xù)化學(xué)濕處理的方法，其特征在于，所述液體化學(xué)劑的壓力范圍是每平方英寸1-10英磅；氣體化學(xué)劑的壓力范圍是每平方英寸10-20英磅。

12.根據(jù)權(quán)利要求8-11任一項(xiàng)所述的用霧狀化學(xué)劑進(jìn)行單面連續(xù)化學(xué)濕處理的方法，其特征在于，所述純水或去離子水噴淋清洗待處理材料的步驟中加入兆聲能量。