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[發明專利]一種利用電選從硅晶體切割液中回收多晶硅材料的方法無效

專利信息
申請號: 200910050601.2 申請日: 2009-05-05
公開(公告)號: CN101879481A 公開(公告)日: 2010-11-10
發明(設計)人: 王武生 申請(專利權)人: 上海奇謀能源技術開發有限公司
主分類號: B03C7/06 分類號: B03C7/06
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 201600 上海市*** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 利用 晶體 切割 回收 多晶 材料 方法
【權利要求書】:

1.一種利用電選從硅晶體切割液中回收多晶硅材料的方法,包括硅切削液,其特征是:所述方法是將從硅切削液中回收的廢砂漿進行過濾、清洗、烘干后,放置在電選機中,利用硅粉與其中的其它固體雜質如碳化硅、金剛石的介電系數的區別進行電選分離,將分離所得到的硅粉進行熔化。

2.根據權利要求1所述的一種利用電選從硅晶體切割液中回收多晶硅材料的方法,其特征是:所述電選分離過程是分步進行的。

3.根據權利要求2所述的一種利用電選從硅晶體切割液中回收多晶硅材料的方法,其特征是:所述分步進行是將已經分離出來的硅粉再放置在電選機中進行電選分離。

4.根據權利要求1所述的一種利用電選從硅晶體切割液中回收多晶硅材料的方法,其特征是:所述熔化是在真空中進行的。

5.根據權利要求1所述的一種利用電選從硅晶體切割液中回收多晶硅材料的方法,其特征是:所述熔化是在惰性氣體的保護狀態下進行的。

6.根據權利要求5所述的一種利用電選從硅晶體切割液中回收多晶硅材料的方法,其特征是:所述惰性氣體是氬氣。

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