[發(fā)明專利]基于二極照明的光刻機(jī)投影物鏡奇像差的檢測(cè)系統(tǒng)和方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910050310.3
• 申請(qǐng)日: 2009-04-30
• 公開（公告）號(hào): CN101551594A
• 公開（公告）日: 2009-10-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 彭勃;王向朝;邱自成;袁瓊雁;曹宇婷;王渤帆
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司
• 代理人: 張澤純

1.一種二極照明的光刻機(jī)投影物鏡奇像差的檢測(cè)系統(tǒng)，包括：產(chǎn)生照明光場(chǎng)的照明光源(1)；照明系統(tǒng)(2)；用于承載測(cè)試掩模(3)并擁有精確定位能力的掩模臺(tái)(4)；能將通過測(cè)試掩模(3)上的檢測(cè)標(biāo)記(5)的光束匯聚到硅片面且數(shù)值孔徑可調(diào)的投影物鏡(6)；能承載硅片并具有三維掃描能力和精確定位能力的工件臺(tái)(7)；安裝在該工件臺(tái)(7)上的像傳感器(8)，與所述像傳感器(8)相連并能進(jìn)行數(shù)據(jù)處理的計(jì)算機(jī)(9)，其特征在于：

所述的照明光源(1)是二極照明光源，該二極照明光源包括兩組二極連線互相垂直的照明方式，二極照明光源的兩極光源由兩個(gè)圓形擴(kuò)展光源構(gòu)成，極相干半徑因子為0.2，兩極光源的極中心相干因子在0.3至0.8的范圍之間調(diào)整；

所述的照明系統(tǒng)(2)用于調(diào)整所述二極照明光源產(chǎn)生的二極照明光場(chǎng)的光強(qiáng)分布、極中心相干因子和極相干半徑因子；

所述的檢測(cè)標(biāo)記(5)由兩組移相光柵組成，分別為y方向檢測(cè)標(biāo)記(51)和x方向檢測(cè)標(biāo)記(52)，兩組光柵的線條方向分別為y方向和x方向；當(dāng)檢測(cè)x方向奇像差時(shí)采用x方向檢測(cè)標(biāo)記(52)，當(dāng)檢測(cè)y方向奇像差時(shí)采用y方向檢測(cè)標(biāo)記(51)；所述移相光柵為交替型移相光柵，相鄰?fù)腹鈪^(qū)域的相位差為180度，相位區(qū)域即透光區(qū)域的寬度記為pw，光柵周期P為不透光區(qū)域和透光區(qū)域的寬度之和；所述移相光柵的線空比為1∶2，即光柵相位區(qū)域?qū)挾萷w和光柵周期P的比值為2∶3。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二極照明的光刻機(jī)投影物鏡奇像差的檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于所述的移相光柵的周期對(duì)于二極照明方式的優(yōu)化結(jié)果為1080nm，不透光區(qū)域的寬度為360nm，透光區(qū)域的寬度為720nm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二極照明的光刻機(jī)投影物鏡奇像差的檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于所述的照明光源(1)為汞燈、準(zhǔn)分子激光器、激光等離子體光源、放電等離子體光源。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二極照明的光刻機(jī)投影物鏡奇像差的檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于所述的像傳感器(8)為CCD、光電二極管陣列或其它具有光電信號(hào)轉(zhuǎn)換功能的探測(cè)器陣列。