[發明專利]中高量程加速度傳感器敏感方向靈敏度的測試方法

無效

• 申請號: 200910049633.0
• 申請日: 2009-04-21
• 公開（公告）號: CN101539587A
• 公開（公告）日: 2009-09-23
• 發明（設計）人: 鮑海飛;李昕欣;宋朝輝;陸德仁
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海微系統與信息技術研究所
• 主分類號: G01P21/00
• 分類號: G01P21/00
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 潘振甦

1、一種中高量程加速度傳感器動態靈敏度的肩并肩式測試方法，其特征在于將已知靈敏度的高量程加速度傳感器作為參考加速度傳感器，同被測試的靈敏度未知的加速度傳感器安裝在同一金屬桿兩側，金屬桿自由下落碰撞金屬砧產生高幅值的脈沖波，金屬砧表面放置機械濾波用的緩沖濾波材料對兩個傳感器輸出波形整形，利用得到的兩個半正弦波形輸出的電壓峰值來比較和計算被測試加速度傳感器的敏感方向的靈敏度；被測試的加速度傳感器的敏感方向的靈敏度是按下式計算的：

Su(ω)=VuVsSs(ω)]]>

式中，V_u為被測試的加速度傳感器的輸出電壓，

V_s為參考的加速度傳感器的輸出電壓，

S_s(ω)參考的加速度傳感器敏感方向的靈敏度。

2、按權利要求1所述的中高量程加速度傳感器動態靈敏度的肩并肩式測試方法，其特征在于被測試的加速度傳感器和參考加速度傳感器同時安裝在金屬桿尾端切割的凹口上，安裝在敏感方向。

3、按權利要求1或2所述的中高量程加速度傳感器動態靈敏度的肩并肩式測試方法，其特征在于所述的已知靈敏度的高量程加速度傳感器是單軸加速度傳感器，敏感方向與金屬桿自由落體的方向一致。

4、按權利要求1或2所述的中高量程加速度傳感器動態靈敏度的肩并肩式測試方法，其特征在于所述的金屬桿與金屬砧發生碰撞產生的應變波的波長λ和金屬桿的直徑D之比大于10，即λ/D＞10。

5、按權利要求1所述的中高量程加速度傳感器動態靈敏度的肩并肩式測試方法，其特征在于所述的已知靈敏度參考加速度傳感器的量程比被測試的加速度傳感器的量程大，即高量程低靈敏度。

6、按權利要求1或5所述的中高量程加速度傳感器動態靈敏度的肩并肩式測試方法，其特征在于所述的已知靈敏度的參考加速度傳感器和被測試的靈敏度未知的加速度傳感器為同種類型的加速度傳感器。

7、按權利要求1所述的中高量程加速度傳感器動態靈敏度的肩并肩式測試方法，其特征在于所述的機械濾波用的緩沖濾波材料為橡膠墊或纖維素材料。

8、按權利要求1或7所述的中高量程加速度傳感器動態靈敏度的肩并肩式測試方法，其特征在于所述的機械濾波用的緩沖濾波材料的厚度為0.10-0.20mm。

9、按權利要求1所述的中高量程加速度傳感器動態靈敏度的肩并肩式測試方法，其特征在于所述的中高量程加速度傳感器的量程為大于2000g。