[發(fā)明專利]一種投影物鏡

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910049045.7
• 申請日: 2009-04-09
• 公開（公告）號: CN101587230A
• 公開（公告）日: 2009-11-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱立榮
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G02B13/00
• 分類號: G02B13/00;G02B13/18;G02B1/00
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所
• 代理人: 屈 蘅;李時云

1.一種投影物鏡，用于將物面的圖案成像在像面上，其特征在于，總共采用了3個非球面表面和5片氟化鈣玻璃鏡片，包括從物面一側(cè)到像面一側(cè)依次排列的：

第一透鏡組，具有正光焦度，用于擴大入射光束口徑，進(jìn)行軸外像差校正，并同時校正匹茲萬場曲；

第二透鏡組，具有負(fù)光焦度，包含一個非球面表面，用于校正場曲和畸變；

第三透鏡組，具有正光焦度，包含一片氟化鈣玻璃鏡片，用于校正色差；

第四透鏡組，具有負(fù)光焦度，包含兩個非球面表面和一片氟化鈣玻璃鏡片，用于校正與光闌有關(guān)的像差；

光闌，用于限制所述投影物鏡的最大通光孔徑；

第五透鏡組，具有正光焦度，包含三片氟化鈣玻璃鏡片，用于平衡色差，以及兩片厚透鏡，用于校正像面場曲。

2.如權(quán)利要求1所述的投影物鏡，其特征在于，所述投影物鏡中，氟化鈣玻璃鏡片的最大半口徑小于140mm。

3.如權(quán)利要求1所述的投影物鏡，其特征在于，所述投影物鏡由28片鏡片組成，且所有鏡片的半口徑均小于145mm。

4.如權(quán)利要求3所述的投影物鏡，其特征在于，所述第一透鏡組包括第一至第六鏡片，其中，第一鏡片為雙凹負(fù)透鏡，第五鏡片為彎月形負(fù)透鏡，其余四片鏡片均為雙凸正透鏡。

5.如權(quán)利要求3所述的投影物鏡，其特征在于，所述第二透鏡組包括第七至第十鏡片，其中，第七至第九鏡片為雙凹負(fù)透鏡，第十鏡片為彎月形負(fù)透鏡。

6.如權(quán)利要求5所述的投影物鏡，其特征在于，所述第十鏡片靠近物面的表面采用非球面。

7.如權(quán)利要求3所述的投影物鏡，其特征在于，所述第三透鏡組包括第十一至第十五鏡片，其中，第十一和第十三鏡片為彎月形正透鏡，第十二、十四和十五鏡片為雙凸正透鏡。

8.如權(quán)利要求7所述的投影物鏡，其特征在于，所述第十四鏡片為氟化鈣玻璃鏡片，其半口徑不超過135mm。?

9.如權(quán)利要求3所述的投影物鏡，其特征在于，所述第四透鏡組包括第十六至第十九鏡片，其中，第十六鏡片為彎月形負(fù)透鏡，第十七、十八鏡片為雙凹負(fù)透鏡，第十九鏡片為彎月形正透鏡。

10.如權(quán)利要求9所述的投影物鏡，其特征在于，所述第十七和第十九鏡片靠近物面的表面為非球面，且所述第十九鏡片為氟化鈣玻璃鏡片。

11.如權(quán)利要求3所述的投影物鏡，其特征在于，所述第五透鏡組包括第二十至第二十八鏡片，其中，第二十、二十一、二十三和二十八鏡片為雙凸正透鏡，第二十四至二十六鏡片為彎月形正透鏡，第二十二鏡片為彎月形負(fù)透鏡，第二十七鏡片為雙凹負(fù)透鏡。

12.如權(quán)利要求11所述的投影物鏡，其特征在于，第二十四至二十六鏡片為氟化鈣玻璃鏡片。

13.如權(quán)利要求11所述的投影物鏡，其特征在于，第二十七和二十八鏡片為厚透鏡，用于校正像面場曲。

14.如權(quán)利要求1所述的投影物鏡，其特征在于，所述第一透鏡組和第二透鏡組的總長不超過334mm，鏡片總數(shù)不超過10片，在整個投影物鏡中所占比重不超過1/3。

15.如權(quán)利要求1所述的投影物鏡，其特征在于，所述投影物鏡的總長為1300mm。

16.如權(quán)利要求1所述的投影物鏡，其特征在于，所述投影物鏡采用雙遠(yuǎn)心結(jié)構(gòu)，使得物方和像方的遠(yuǎn)心角均小于3mrad。

17.如權(quán)利要求1所述的投影物鏡，其特征在于，所述投影物鏡用于193nm工作波長。?