[發明專利]氮化硅發熱體及其制作方法

有效

• 申請號: 200910048864.X
• 申請日: 2009-04-03
• 公開（公告）號: CN101854749A
• 公開（公告）日: 2010-10-06
• 發明（設計）人: 陳長明
• 申請（專利權）人: 上海漢源特種陶瓷有限公司
• 主分類號: H05B3/10
• 分類號: H05B3/10;B22F3/12;C04B35/584;C04B35/622
• 代理公司: 上?？剖⒅R產權代理有限公司 31225
• 代理人: 楊元焱

1.一種氮化硅發熱體，其特征在于：包括載體、帶電極的發熱鎢絲和導線，載體由氮化硅粉85％-93％重量、氧化釔粉0.4％-6％重量、氧化鑭粉1.5％-10％重量和氧化鋁粉0.1％-12％重量制備而成，發熱鎢絲嵌裝在載體中，發熱鎢絲電極設置在載體的一端，導線與發熱鎢絲電極焊接相連。

2.如權利要求1所述的氮化硅發熱體，其特征在于：所述的載體的一端設有一個凹槽，所述的發熱鎢絲電極設置在該凹槽的槽口上。

3.一種氮化硅發熱體的制作方法，其特征在于：包括以下步驟：

A、制作氮化硅素坯

將氮化硅粉85％-93％重量、氧化釔粉0.4％-6％重量、氧化鑭粉1.5％-10％重量和氧化鋁粉0.1％-12％重量，加入適量蒸餾水球磨混合均勻后，經烘干、過篩得到混合好的粉料，取素坯重量二分之一的粉料倒入素坯模中，刮平后放入鎢絲，再加上另一半粉料，刮平后放上壓頭，經60噸壓機壓制成氮化硅素坯；

B、制作氮化硅發熱體基體

將步驟A所得氮化硅素坯多塊分別用兩塊石墨墊板從上下夾住組成疊層，然后將多個疊層疊放在一起，四周用石墨擋板將疊層包覆在內，放到模具中壓緊，置于真空熱壓爐中熱壓燒結，待爐溫冷至室溫取出分離，每塊氮化硅素坯即熱壓燒結成一塊氮化硅發熱體基體；

C、焊接導線

將氮化硅發熱體基體包含發熱鎢絲電極的一端打磨至露出電極，將導線與電極焊接相連，即成為氮化硅發熱體產品。

4.如權利要求3所述的氮化硅發熱體的制作方法，其特征在于：步驟B所述的制作氮化硅發熱體基體的具體作法是：由室溫在60分鐘內加熱至1500℃，然后施加10噸壓力；再在40分鐘內加熱至1680℃，然后將壓力增加到30噸；再在20分鐘內加熱至1850℃，維持30噸壓力不變并在1850℃下繼續加熱30分鐘；燒結開始時保持真空，溫度升到1500℃后充氮氣保護。