[發(fā)明專利]邊緣曝光調(diào)整裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910048640.9
• 申請日: 2009-03-31
• 公開（公告）號: CN101533227A
• 公開（公告）日: 2009-09-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉育;李中秋
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所
• 代理人: 屈 蘅;李時云

1.一種邊緣曝光調(diào)整裝置，用以在邊緣曝光過程中調(diào)整鏡筒相對于硅片的位置，其特征是，包括：

支座，其底面包括三個墊片，這三個墊片不位于同一直線上，該支座通過這三個墊片放置在固定平臺上；

鏡筒支架，其一端通過直線導(dǎo)軌可滑動地設(shè)置于該支座內(nèi)，其另一端套接該鏡筒，該鏡筒可轉(zhuǎn)動地設(shè)置在該鏡筒支架的另一端內(nèi)，其中該直線導(dǎo)軌包括：

導(dǎo)軌，固定在該支座上；

滑塊，固定在該鏡筒支架上并且可滑動地設(shè)置在該導(dǎo)軌上；以及

調(diào)整螺栓，該調(diào)整螺栓沿x軸方向穿過該支座和該鏡筒支架，該調(diào)整螺栓具有調(diào)整部和第一螺紋，該鏡筒支架具有第二螺紋，該第一螺紋和該第二螺紋對應(yīng)配合，其中當(dāng)轉(zhuǎn)動該調(diào)整部，該鏡筒支架帶動該鏡筒沿x軸方向移動；

其中這三個墊片為可修磨高度的墊片，其中通過修磨三個墊片來實(shí)現(xiàn)該支座的調(diào)平。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的邊緣曝光調(diào)整裝置，其特征是，其中該導(dǎo)軌和該滑塊之間設(shè)置有多個滾珠，用以降低該導(dǎo)軌和該滑塊在滑動時的摩擦力。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的邊緣曝光調(diào)整裝置，其特征是，還包括緊定裝置，該緊定裝置包括：

第一緊定螺釘，插入該鏡筒支架并用以抵觸該鏡筒；

頂板，固定在該支座上；以及

第二緊定螺釘，插入該頂板并用以抵觸該鏡筒支架；

其中當(dāng)擰緊該第一緊定螺釘和該第二緊定螺釘，該鏡筒固定在該鏡筒支架上，該鏡筒支架固定在該支座上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的邊緣曝光調(diào)整裝置，其特征是，還包括數(shù)據(jù)讀取裝置，包括：鏡筒刻度線，位于該鏡筒外側(cè)；鏡筒支架刻度線，位于該鏡筒支架外側(cè)；支座刻度線，位于該支座外側(cè)；以及調(diào)整螺釘刻度線，位于該調(diào)整螺釘外側(cè)，

其中鏡筒刻度線和鏡筒支架刻度線相互之間最小刻度值有較小刻度差，實(shí)?現(xiàn)旋轉(zhuǎn)準(zhǔn)確讀數(shù)，

調(diào)整螺栓刻度線的最小刻度值稍小于支座刻度線的所有刻度值之和，實(shí)現(xiàn)360°范圍旋轉(zhuǎn)讀數(shù)。?