[發明專利]一種超級電容器極板材料及其制備方法

無效

• 申請號: 200910047989.0
• 申請日: 2009-03-20
• 公開（公告）號: CN101510467A
• 公開（公告）日: 2009-08-19
• 發明（設計）人: 王連衛;苗鳳娟;陶佰睿
• 申請（專利權）人: 華東師范大學
• 主分類號: H01G9/04
• 分類號: H01G9/04;B81C1/00
• 代理公司: 上海伯瑞杰知識產權代理有限公司
• 代理人: 傅戈雁

1.一種超級電容器極板材料的制備方法，其特征是：包括如下步驟：

A.采用電化學法制作硅微通道；

B.以硅微通道為襯底，經表面預處理后，在無電鍍鎳鍍液 中沉積鎳層，形成鎳/硅微通道納米復合結構；

C.對制作的鎳/硅微通道納米復合結構在氧氣氣氛中進行 快速熱退火，退火溫度控制在350℃到550℃之間，退火時間 控制在6到10分鐘，即形成氧化亞鎳/硅微通道復合結構材 料。

2.如權利要求1所述的超級電容器極板材料的制備方法，其特征是：所述步 驟A中的制作硅微通道的電化學法為首先利用光刻定義硅片孔的位置，進 行預腐蝕，當孔呈倒四棱臺結構時停止腐蝕；隨后沿著倒四棱臺頂角向下 進行電化學深刻蝕，在襯底上形成微通道結構；然后進行背面減薄至所刻 蝕位置；再用超聲波分離使中間未刻蝕部分脫落，即獲得拋離于襯底的硅 微通道結構。

3.如權利要求1所述的超級電容器極板材料的制備方法，其特征是：所述步 驟B中的表面預處理指：用1％聚乙二醇辛基苯基醚溶液浸潤30秒。

4.如權利要求1所述的超級電容器極板材料的制備方法，其特征是：所述步 驟B中的無電鍍鎳鍍液的配方為：濃度為0.8～1.4摩爾/升的六水合硫酸 鎳，濃度為8～12毫克/升的十二烷基硫酸鈉，濃度為2.3～2.7摩爾/升的 氟化氨，濃度為0.1～0.3摩爾/升的檸檬酸鈉，再配上氨水調整鍍液的pH 值為7.0～10。

5.如權利要求4所述的超級電容器極板材料的制備方法，其特征是：在所述 鍍液中沉積30到45分鐘。