[發明專利]一種遠心測量裝置及方法有效
| 申請號： | 200910047954.7 | 申請日： | 2009-03-20 |
| 公開（公告）號： | CN101520322A | 公開（公告）日： | 2009-09-02 |
| 發明（設計）人： | 郭勇 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/26 | 分類號： | G01B11/26;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所 | 代理人： | 屈 蘅;李時云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 測量 裝置 方法 | ||
1.一種遠心測量裝置，其特征在于包括：
全息光學元件，全息光學元件是由球面波與參考平面波發生干涉后產生；
進光孔，位于所述全息光學元件一側的焦面上；
光電傳感器，位于所述全息光學元件另一側的焦面上；
數據處理系統，和所述光電傳感器相連。
2.根據權利要求1所述一種遠心測量裝置，其特征在于所述進光孔被放置于一照明場平面內。
3.根據權利要求1所述一種遠心測量裝置，其特征在于所述光電傳感器為電荷耦合器件或者位置傳感器。
4.根據權利要求1所述一種遠心測量裝置，其特征在于所述遠心測量裝置和一控制臺相連，由所述控制臺控制所述遠心測量裝置的運動。
5.根據權利要求1所述一種遠心測量裝置，其特征在于所述進光孔形狀為圓形、橢圓形或者方形。
6.一種遠心測量方法，其特征在于包括：
光照射進光孔產生點光源；
所述點光源射到全息光學元件上后以平行光出射；
所述平行光射到一光電傳感器上；
數據處理系統接收所述光電傳感器上的信號并計算所述點光源的遠心值，其中，全息光學元件是由球面波與參考平面波發生干涉后產生，進光孔位于全息光學元件一側的焦面上，光電傳感器位于全息光學元件另一側的焦面上。
7.根據權利要求6所述一種遠心測量方法，其特征在于所述進光孔放置于照明場平面內。
8.根據權利要求7所述一種遠心測量方法，其特征在于還包括一步進掃描過程，測量裝置在所述照明場平面內步進掃描多個點的位置，測量多個點的遠心值。
9.根據權利要求6所述一種遠心測量方法，其特征在于所述光電傳感器為電荷耦合器件或者位置傳感器。
10.根據權利要求6所述一種遠心測量方法，其特征在于整個遠心測量裝置和一控制臺相連，由所述控制臺控制所述遠心測量裝置的運動。
11.根據權利要求6所述一種遠心測量方法，其特征在于所述進光孔形狀為圓形、橢圓形或者方形。
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