[發明專利]一種防止母液大面積殘留的液相外延石墨舟

無效

• 申請號: 200910047695.8
• 申請日: 2009-03-17
• 公開（公告）號: CN101586252A
• 公開（公告）日: 2009-11-25
• 發明（設計）人: 王奇偉;于清華;何家玉;鄧惠勇;戴寧
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海技術物理研究所
• 主分類號: C30B19/06
• 分類號: C30B19/06
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司
• 代理人: 郭 英

1.一種防止母液大面積殘留的液相外延石墨舟，它包括底板(1)、滑塊(2)、 可翻轉襯底托板(3)、控制栓(4)、轉動軸(5)、底座(6)，其特征在于：底 板(1)嵌置在底座(6)上的卡槽(601)中，底板(1)上開有殘留母液收集 槽(101)，和安裝轉動軸(5)的圓孔(102)，安裝控制栓(4)的方孔(103)， 控制滑塊(2)方向的卡槽(104)，安裝可翻轉襯底托板(3)的孔(105)；滑 塊(2)上開有一個用于放置薄膜生長母液的母液槽(201)，滑塊(2)嵌在底 板(1)上面的卡槽(104)內，可以左右自由滑動；可翻轉襯底托板(3)兩 端呈楔形，截面是平行四邊形，上有放置襯底的襯底槽(301)，和一個安裝轉 動軸(5)的圓孔(302)，安裝轉動軸(5)穿過可翻轉襯底托板(3)上圓孔 (302)和底板(1)上的圓孔(102)，將可翻轉襯底托板(3)安裝在底板(1) 上的孔(105)中，可翻轉襯底托板(3)可以繞轉動軸(5)自由轉動；控制 可翻轉襯底托板(3)翻轉的控制栓(4)插在底板(1)上的方孔(103)中， 控制栓(4)在方孔(103)中可以左右滑動。

2.根據權利要求1所述的一種防止母液大面積殘留的液相外延石墨舟， 其特征在于：所述的安裝可翻轉襯底托板(3)的孔(105)的形狀與可翻轉襯 底托板(3)的形狀相吻合。

3.根據權利要求1所述的一種防止母液大面積殘留的液相外延石墨舟， 其特征在于：所述的可翻轉襯底托板(3)兩端的楔形角為45°。

4.根據權利要求1所述的一種防止母液大面積殘留的液相外延石墨舟， 其特征在于：所述的控制栓(4)靠近可翻轉襯底托板(3)的右端成楔形，角 度為30°。

5.根據權利要求1所述的一種防止母液大面積殘留的液相外延石墨舟， 其特征在于：所述的母液槽(201)是一個正方形的通孔，它的邊長比正方形 的襯底槽(301)的邊長小0.5-1毫米。