[發明專利]超聲噴霧隧道爐及用于制備大面積二氧化錫透明導電膜的方法

無效

• 申請號: 200910043342.0
• 申請日: 2009-05-11
• 公開（公告）號: CN101566430A
• 公開（公告）日: 2009-10-28
• 發明（設計）人: 羊億;彭星煜;李廣
• 申請（專利權）人: 湖南師范大學
• 主分類號: F27B9/02
• 分類號: F27B9/02;F27B9/12;F27B9/24;F27B9/30;H01L31/0224
• 代理公司: 長沙星耀專利事務所
• 代理人: 趙靜華

1.一種超聲噴霧隧道爐，包括加熱區、工作區、退火保溫區三個區域，設置在工作區襯底材料上方的噴嘴，與噴嘴連接的超聲起霧器，其特征在于，所述噴嘴上端設有5～30個霧氣進氣管道，噴嘴靠近隧道爐出口一側設有廢氣排出通道，在廢氣排出通道的上方設有5-30廢氣排出管道，廢氣排出管道與抽氣泵連接。

2.根據權利要求1所述的一種超聲噴霧隧道爐，其特征在于，在隧道爐內裝有輥，在輥上設有用于傳送襯底材料的傳送網帶。

3.根據權利要求1所述的一種超聲噴霧隧道爐，其特征在于，所述噴嘴呈楔形，下端出口處設有比上端小的收口。

4.根據權利要求1所述的一種超聲噴霧隧道爐，其特征在于，所述噴嘴外部設有噴嘴保溫層、噴嘴四周設有噴嘴水冷卻層。

5.根據權利要求1所述的一種超聲噴霧隧道爐，其特征在于，每個霧氣進氣管道和廢氣排出管道均接有流量計。

6.根據權利要求1所述的一種超聲噴霧隧道爐，其特征在于，所述噴嘴帶有控制與襯底材料表面距離的升降裝置。

7、一種權利要求1所述超聲噴霧隧道爐用于制備大面積透明二氧化錫導電膜的方法，其特征在于：包括以下步驟：

包括以下步驟：

(1)按現有技術配制F/Sn摩爾百分比為1％～10％的溶液；裝入與噴嘴連接的超聲起霧器起霧；

(2)襯底材料由傳送網帶攜帶進入隧道爐，在加熱區加熱升溫；

(3)襯底材料由傳送網傳送進入工作區，將溫度恒定在300℃～500℃，噴嘴將起霧后的霧氣均勻噴灑在襯底材料上形成二氧化錫透明導電膜，反應后的廢氣由抽氣泵從廢氣排出管道抽出；

(4)襯底材料由傳送網帶送入退火保溫區退火降溫。