[發明專利]一種波導器件高精度自動對準封裝的機械裝置

無效

• 申請號: 200910042650.1
• 申請日: 2009-02-13
• 公開（公告）號: CN101498816A
• 公開（公告）日: 2009-08-05
• 發明（設計）人: 段吉安;鄭煜
• 申請（專利權）人: 中南大學
• 主分類號: G02B6/36
• 分類號: G02B6/36
• 代理公司: 長沙市融智專利事務所
• 代理人: 鄧建輝

1、一種集成光子芯片與陣列光纖自動對準的機械裝置，包括集成光子芯片夾具(702/704)和采用真空吸附方式工作的波導夾具(703)，其特征是：在底板(100)上設有中間運動平臺(200)，在所述的底板(100)上設有以所述的中間運動平臺(200)左右對稱分布的兩臺六維高精度運動平臺，所述的中間運動平臺(200)是在固立臺(202)上設有旋轉臺(201)，在所述的旋轉臺(201)上設有繞Y軸旋轉動平臺(2013)，在所述的旋轉臺(201)上安裝有通過第三高品質彈性聯軸節(2012)與所述的繞Y軸旋轉動平臺(2013)傳動連接的第二步進電機(2011)，在所述的繞Y軸旋轉動平臺(2013)上設有轉接臺(203)，在所述的轉接臺(203)上方布置有所述的高精密通用的集成光子芯片夾具(703)和真空吸附口(7031)；每臺六維高精度宏動平臺的結構是在所述的底板(100)上設有X軸軸向運動平臺，所述的X軸軸向運動平臺的動平臺與Z軸軸向運動平臺的固定臺連接，在所述的Z軸軸向運動平臺的動平臺上設有連接體，所述的連接體與Y軸軸向運動平臺的固定臺連接，所述的Y軸軸向運動平臺的驅動電機尾部向下，所述的Y軸軸向運動平臺的動平臺與繞Y軸旋轉Ty運動平臺的固定臺連接，在所述的繞Y軸旋轉Ty運動平臺的動平臺上設有轉接板，所述的轉接板與繞X軸旋轉Tx運動平臺的固定臺連接，所述的繞X軸旋轉Tx運動平臺的動平臺與繞Z軸旋轉Tz運動平臺的固定臺連接，在所述的繞Z軸旋轉Tz運動平臺的動平臺上設有三維高精度微動平臺，在所述的三維高精度微動平臺上設有連接板和夾具，所述的高精密通用的波導夾具設在所述的連接板上與所述的集成光子芯片夾具(703)對應。

2、根據權利要求1中所述的集成光子芯片與陣列光纖自動對準的機械裝置，其特征是：所述的六維高精度宏動平臺的重心設在所述的X軸軸向運動平臺和所述的Z軸軸向運動平臺的交點上。

3、根據權利要求1或2所述的集成光子芯片與陣列光纖自動對準的機械裝置，其特征是：所述的X軸軸向運動平臺、Z軸軸向運動平臺和Y軸軸向運動平臺的結構是在第一固定臺上設有線性滑塊導軌，所述的線性滑塊導軌兩端設有零位開關和限位開關，在所述的線性滑塊導軌上滑動設有第一動平臺，步進電機通過安裝臺安裝在所述的第一固定臺上并通過高品質彈性聯軸節連接有高精密滾珠螺桿，所述的高精密滾珠螺桿通過滑塊與所述的第一動平臺連接，在所述的第一固定臺上設有RS232接口。

4、根據權利要求1或2所述的集成光子芯片與陣列光纖自動對準的機械裝置，其特征是：所述的繞Y軸旋轉Ty運動平臺、繞X軸旋轉Tx運動平臺和繞Z軸旋轉Tz運動平臺的結構是在第二固定臺上滑動設有第二動平臺，第一步進電機安裝在所述的第二固定臺上并通過第二高品質彈性聯軸節連接有蝸桿，在所述的第二動平臺上設有與所述的蝸桿嚙合的蝸輪，在所述的第一步進電機上設有RS232接口。

5、根據權利要求1或2所述的集成光子芯片與陣列光纖自動對準的機械裝置，其特征是：所述的三維高精度微動平臺可以實現X軸軸向高精度微動，Y軸軸向高精度微動和Z軸軸向高精度微動，并采用壓電陶瓷進行驅動，運動精度達到納米級。