[發(fā)明專利]手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910040588.2
• 申請(qǐng)日: 2009-06-26
• 公開（公告）號(hào): CN101645491A
• 公開（公告）日: 2010-02-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊明生;范繼良;郭遠(yuǎn)倫;王曼媛;王勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司
• 主分類號(hào): H01L51/56
• 分類號(hào): H01L51/56;H01L21/02;E05F11/00
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種升降機(jī)構(gòu)，尤其涉及一種通過緩和升降的方式對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備中腔體門或蓋板進(jìn)行緩和開啟和關(guān)閉的手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

隨著經(jīng)濟(jì)的不斷發(fā)展、科技的不斷進(jìn)步和世界能源的日益減少，人們?cè)谏a(chǎn)中越來越重視能源的節(jié)約及利用效率，使得人與自然和諧發(fā)展以滿足中國(guó)新型的工業(yè)化道路要求。

例如，對(duì)真空環(huán)境要求極高的數(shù)碼產(chǎn)品的顯示產(chǎn)業(yè)中，企業(yè)為了節(jié)約能源、降低生產(chǎn)成本，都加大投資研發(fā)力度，不斷地追求節(jié)能的新產(chǎn)品。其中，OLED顯示屏就是數(shù)碼產(chǎn)品中的一種新產(chǎn)品，OLED即有機(jī)發(fā)光二極管(OrganicLight-Emitting?Diode)，又稱為有機(jī)電激光顯示(Organic?ElectroluminesenceDisplay，OELD)，因?yàn)榫邆漭p薄、省電等特性，因此在數(shù)碼產(chǎn)品的顯示屏上得到了廣泛應(yīng)用，并且具有較大的市場(chǎng)潛力，目前世界上對(duì)OLED的應(yīng)用都聚焦在平板顯示器上，因?yàn)镺LED是唯一在應(yīng)用上能和TFT-LCD相提并論的技術(shù)，且是目前所有顯示技術(shù)中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率軟屏的顯示技術(shù)，可以做成和紙張一樣的厚度；但OLED顯示屏幕與傳統(tǒng)的TFT-LCD顯示屏幕并不同，其無需背光燈，采用非常薄的有機(jī)材料涂層和玻璃基片，當(dāng)有電流通過時(shí)，這些有機(jī)材料就會(huì)發(fā)光，而且OLED顯示屏幕可以做得更輕更薄，可視角度更大，并且能夠顯著節(jié)省電能；相應(yīng)地，制造OLED顯示屏幕的所有設(shè)備必須要保證OLED顯示屏幕的精度要求。OLED的基片材料為非常薄且易碎的玻璃，在OLED的基片制作工序及后續(xù)工藝中，有很多工序在具有真空環(huán)境下真空腔室內(nèi)完成，為了保證OLED的質(zhì)量和精度，需要定期對(duì)真空腔室進(jìn)行檢修，因此，需要為腔體配備一個(gè)能使腔體門緩和開啟和關(guān)閉的手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)。

升降機(jī)構(gòu)運(yùn)用的場(chǎng)合極為廣泛，且升降機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)常因使用目的不同而設(shè)計(jì)出不同的結(jié)構(gòu)。在半導(dǎo)體工藝中，特別是在清洗、刻蝕、氧化、化學(xué)和物理氣相沉積等過程中，需要用到腔體。有時(shí)候?yàn)榱吮ＷC腔體內(nèi)的真空質(zhì)量，需要定期或不定期的對(duì)腔體內(nèi)的部件進(jìn)行清理和維護(hù)，因此，當(dāng)需要在腔體內(nèi)部維修或者是拆裝部件時(shí)就需要一套可以打開和閉合腔室門或者蓋板的升降機(jī)構(gòu)。而升降機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)是否合理就直接影響真空效果，生產(chǎn)效率等。

現(xiàn)有技術(shù)中有一種汽缸式升降機(jī)構(gòu)，蓋板在氣缸的作用下，實(shí)現(xiàn)蓋板的升降運(yùn)動(dòng)。此種機(jī)構(gòu)一般只能開啟一定的角度。當(dāng)需要將蓋板升的較高時(shí)，又會(huì)使汽缸臂導(dǎo)軌非常的長(zhǎng)，占用較大的空間并影響外觀。

在某些時(shí)候腔室門或者蓋板開啟的角度就決定了在腔室內(nèi)部操作的方便性，直接影響了生產(chǎn)效率。

因此，需要一種操作方便、結(jié)構(gòu)緊湊、連接可靠的升降機(jī)構(gòu)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種操作方便、結(jié)構(gòu)緊湊、連接可靠的能緩和升降的手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)，包括殼體、手輪、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)及推動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述手輪安裝于所述殼體外，并與所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝于所述殼體內(nèi)，并與所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，所述手輪驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)做弧形運(yùn)動(dòng)，其中，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括蝸桿、第一級(jí)齒輪、第二級(jí)齒輪，第三級(jí)齒輪，所述第一級(jí)齒輪具有蝸輪、第一齒輪及第一傳動(dòng)軸，所述第二級(jí)齒輪具有第二齒輪、第三齒輪及第二傳動(dòng)軸，所述第三級(jí)齒輪包括扇形齒輪、第三傳動(dòng)軸及軸承，所述第一傳動(dòng)軸、第二傳動(dòng)軸及第三傳動(dòng)軸軸線平行，所述第一傳動(dòng)軸、第二傳動(dòng)軸樞接于所述殼體內(nèi)，所述蝸桿的一端與所述手輪固定連接，另一端與所述蝸輪嚙合，所述蝸輪與所述第一齒輪固定于所述第一傳動(dòng)軸上，所述第一齒輪與所述第二齒輪嚙合，所述第二齒輪與所述第三齒輪固定于所述第二傳動(dòng)軸上，所述第三齒輪與所述扇形齒輪嚙合，所述扇形齒輪固定安裝于所述第三傳動(dòng)軸上，所述軸承鑲嵌并固定于所述殼體上，所述第三傳動(dòng)軸穿過所述殼體并安裝于所述軸承上，所述第三傳動(dòng)軸兩端與所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)固定連接。

較佳地，所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)包括兩連板及夾板，所述連板的一端分別與所述第三傳動(dòng)軸的兩端固定連接，另一端分別與所述夾板的兩端固定連接。所述連板連接于所述第三傳動(dòng)軸兩端可將第三傳動(dòng)軸輸出的扭力傳導(dǎo)到所述夾板，使所述夾板繞所述第三傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)。

較佳地，所述蝸桿為單頭蝸桿。單頭蝸桿具自鎖性，可實(shí)現(xiàn)任意位置的自鎖，防止所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)反向轉(zhuǎn)動(dòng)。

較佳地，所述扇形齒輪的扇形角度為介于85°到100°之間。使用扇形齒輪可有效減少所述手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)的占用空間，結(jié)構(gòu)緊湊。