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[發(fā)明專利]一種晶體硅太陽電池鋁背場二次燒結(jié)工藝無效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 200910039022.8 申請日: 2009-04-27
公開(公告)號: CN101540349A 公開(公告)日: 2009-09-23
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 沈輝;王學(xué)孟;張陸成 申請(專利權(quán))人: 中山大學(xué)
主分類號: H01L31/18 分類號: H01L31/18
代理公司: 廣州知友專利商標(biāo)代理有限公司 代理人: 李海波
地址: 510275廣*** 國省代碼: 廣東;44
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 晶體 太陽電池 鋁背場 二次 燒結(jié) 工藝
【權(quán)利要求書】:

1.一種晶體硅太陽電池鋁背場二次燒結(jié)工藝,其特征在于,利用激光束或微波束在晶體硅太陽電池背面鋁層密集掃描,使掃描區(qū)域內(nèi)的鋁瞬間加熱熔化,并向硅體擴(kuò)散,形成性能優(yōu)異的重?cái)U(kuò)散鋁背場。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體硅太陽電池鋁背場二次燒結(jié)工藝,其特征在于,所述的激光束采用功率為1~1000W、波長為1100~200nm的脈沖或連續(xù)激光束,在經(jīng)過聚焦后達(dá)到微米至毫米量級直徑的光斑照射到鋁層表面進(jìn)行掃描。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體硅太陽電池鋁背場二次燒結(jié)工藝,其特征在于,所述的微波束采用功率10~1000W、毫秒及更短的脈沖寬度的微波源,經(jīng)過天線匯聚后在鋁層上進(jìn)行加熱。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體硅太陽電池鋁背場二次燒結(jié)工藝,其特征在于,根據(jù)晶體硅片、印刷鋁層和激光、微波的性能,選擇合適的掃描圖樣,在太陽電池背面進(jìn)行全面或者局部的燒結(jié)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的多晶硅太陽電池絨面制作方法,其特征在于,所述的掃描圖樣設(shè)計(jì)成點(diǎn)陣或線陣。

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