[發明專利]金屬及金屬氧化物蝕刻油墨及其制備方法與應用

有效

• 申請號: 200910037067.1
• 申請日: 2009-02-05
• 公開（公告）號: CN101481616A
• 公開（公告）日: 2009-07-15
• 發明（設計）人: 楊勝利;彭朝斌;李曉華
• 申請（專利權）人: 廣州市和攜化工科技有限公司;上達電子(深圳)有限公司
• 主分類號: C09K13/00
• 分類號: C09K13/00;H01L21/311;H01L21/3213
• 代理公司: 廣州市華學知識產權代理有限公司
• 代理人: 楊曉松

1.一種金屬及金屬氧化物蝕刻油墨，其特征在于由以下重量份的原料組 分制備得到：非揮發性酸10～40份、水溶性高分子聚合物10～50份、水10～ 50份和油墨助劑；所述油墨助劑包括流平劑0.1～1份，消泡劑0.1～1份和潤 濕劑0.1～1份；所述非揮發性酸為硫酸、磷酸、草酸和酒石酸中的至少一種； 所述水溶性高分子聚合物包括水溶性聚氨酯、聚丙烯酰胺、聚乙二醇、聚丙 二醇、聚乙烯醇、糊精、明膠、阿拉伯膠和淀粉中的至少兩種。

2.根據權利要求1所述的金屬及金屬氧化物蝕刻油墨，其特征在于由以 下重量份的原料組分制備得到：非揮發性酸25～38份、水溶性高分子聚合物 20～35份、水20～40份和油墨助劑；所述油墨助劑包括流平劑0.2～0.5份， 消泡劑0.2～0.5份和潤濕劑0.2～0.5份。

3.根據權利要求1或2所述的金屬及金屬氧化物蝕刻油墨，其特征在于： 所述的消泡劑為德國畢克化學公司的BYK－323或BYK－052；所述流平劑 為德國畢克化學公司的BYK－333或BYK－300；所述潤濕劑為德國畢克化 學公司的BYK－161或法國羅地亞公司的IGEPAL?CA-630。

4.根據權利要求1所述的金屬及金屬氧化物蝕刻油墨，其特征在于：

所述水溶性高分子聚合物為聚乙二醇、聚乙烯醇、糊精、明膠、阿拉伯膠和 淀粉中的至少兩種。

5.根據權利要求1所述的金屬及金屬氧化物蝕刻油墨，其特征在于：

所述非揮發性酸為磷酸、草酸或二者的混合物；所述聚乙二醇或聚乙烯醇的 分子量在1000～10000之間。

6.根據權利要求1所述的金屬及金屬氧化物蝕刻油墨，其特征在于：所 述水溶性聚氨酯、聚丙烯酰胺、聚乙二醇、聚丙二醇或聚乙烯醇的分子量在 1000～10000之間。

7.一種權利要求1所述的金屬及金屬氧化物蝕刻油墨的制備方法，其特 征在于包括以下步驟：首先將所述水溶性高分子聚合物中的一種和水均勻混 合，然后在50～100度下加入所述非揮發性酸反應1～10小時，冷卻到30～ 40度后，再加入其它水溶性高分子聚合物，保溫1～5小時后，加入所述油墨 助劑，混勻即得到所述金屬及金屬氧化物蝕刻油墨。

8.根據權利要求7所述的金屬及金屬氧化物蝕刻油墨制備方法，其特征 在于包括以下步驟：首先將所述水溶性高分子聚合物中的一種和水均勻混合， 然后在60～80度下加入所述非揮發性酸反應2～4小時，冷卻到30～40度后， 再加入其它水溶性高分子聚合物，保溫2～3小時后，加入所述油墨助劑，混 勻即得到所述金屬及金屬氧化物蝕刻油墨。

9.權利要求1所述金屬及金屬氧化物蝕刻油墨應用于蝕刻金屬及金屬氧 化物。