[發(fā)明專利]高功率交流變頻電源無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200910033403.5 | 申請(qǐng)日： | 2009-06-19 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN101586230A | 公開(kāi)（公告）日： | 2009-11-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 楊德兵;王賢榮 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 江蘇藍(lán)星玻璃有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C23C14/40 | 分類號(hào)： | C23C14/40 |
| 代理公司： | 南京眾聯(lián)專利代理有限公司 | 代理人： | 顧伯興 |
| 地址： | 226006江蘇*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 功率 交流 變頻 電源 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
1、一種高功率交流變頻電源，包括直流電源(1)、接頭系統(tǒng)(2)、靶材系統(tǒng)(3)，其特征在于：所述直流電源(1)包括陰極(4)和陽(yáng)極(5)，所述陰極(4)和陽(yáng)極(5)分別通過(guò)線(6)與設(shè)有的電橋和開(kāi)關(guān)組合(7)的一端相連接，所述電橋和開(kāi)關(guān)組合(7)的另一端通過(guò)線(6)與所述接頭系統(tǒng)(2)上設(shè)有的兩個(gè)電源接頭(8)相連接，靶材系統(tǒng)(3)連接在所述接頭系統(tǒng)(2)上，所述靶材系統(tǒng)(3)與外部噴頭系統(tǒng)相連接。
2、根據(jù)權(quán)利要求1所述高功率交流變頻電源，其特征在于：所述靶材系統(tǒng)中設(shè)有第一靶材(9)和第二靶材(10)。
3、根據(jù)權(quán)利要求1所述高功率交流變頻電源，其特征在于：所述噴頭系統(tǒng)中設(shè)有第一噴頭(11)和第二噴頭(12)。
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- 專利分類
C23 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過(guò)覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過(guò)覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
