[發(fā)明專利]彩色濾光片制程中用的邊膠清洗劑

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910031417.3
• 申請日: 2009-04-24
• 公開（公告）號: CN101544929A
• 公開（公告）日: 2009-09-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 顧奇;朱海盛;卞玉桂
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州瑞晶化學(xué)有限公司;蘇州蘇電微電子信息化學(xué)品研發(fā)中心有限公司
• 主分類號: C11D1/42
• 分類號: C11D1/42;C11D3/43;G03F7/16;G03F7/20
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 陳忠輝

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種清洗劑，尤其涉及彩色濾光片(CF)制程中彩色光刻膠涂膠后邊膠清洗時(shí)所用的邊膠清洗劑。

背景技術(shù)

彩色濾光片是液晶顯示器的重要組成部件，液晶顯示器能呈現(xiàn)彩色影像，主要依靠彩色濾光片。背光源的白光透過液晶層，照射到彩色濾光片，通過彩色濾光片對應(yīng)每個(gè)像素上的紅、綠、藍(lán)三色顏料光阻，形成紅、綠、藍(lán)色光，最后在人眼中混合形成彩色影像。彩色濾光片是TFT—LCD面板中成本比重最大的零組件，如15英寸面板的材料成本中，彩色濾光片約占24％。因此彩色濾光片的質(zhì)量及其技術(shù)發(fā)展對液晶顯示器至關(guān)重要。

彩色濾光片由玻璃基板、黑色矩陣、彩色層、保護(hù)層及ITO導(dǎo)電膜等組成。其中玻璃為彩色濾光片的載體，通常LCD面板要求使用相同型號的玻璃，以免在制程中因熱膨脹不同而影響良品率。TFT—LCD使用的彩色濾光片玻璃必須是無堿玻璃，其成本占彩色濾光片成本的一半以上。黑色矩陣的主要作用是區(qū)隔各種顏色層，作為對比之用，并可避免光電流的產(chǎn)生。彩色層具有濾光功能，一般應(yīng)具有耐熱性佳、色彩飽和度高與穿透性好等特點(diǎn)；彩色層的每個(gè)像素由紅、綠、藍(lán)三個(gè)子像素構(gòu)成，三個(gè)子像素的排布方式有條型、品字型和馬賽克型等。保護(hù)層的主要功能是保護(hù)彩色層和增加表面的平滑性，并兼作黑色矩陣與透明電極(ITO)層的絕緣層，以及隔離液晶與防止污染等作用。ITO透明導(dǎo)電層作為液晶顯示器的一個(gè)電極，與陣列基板的對應(yīng)電極構(gòu)成正負(fù)極以驅(qū)動(dòng)液晶分子。

彩色濾光片的制備工藝一直以涂布光刻為主，在玻璃基板尺寸較小的生產(chǎn)線上，制程工藝基本以中央滴下加旋轉(zhuǎn)涂布為主。因?yàn)樾D(zhuǎn)的速度很快，當(dāng)玻璃基板尺寸增大時(shí)，設(shè)備的制造以及薄膜涂布均勻性控制將非常困難，因此在高世代生產(chǎn)線上，廠商將其改為狹縫涂布加旋轉(zhuǎn)涂布工藝，但是這種涂布方式有Edge?Bead(邊膠)的問題。因此在干燥前(后)需要進(jìn)行Edge?Bead?Remover(邊膠去除)。

根據(jù)目前邊膠清洗技術(shù)，光阻在涂膜并干燥后，雖可以用邊膠清洗劑來清洗邊膠，但是在清洗時(shí)卻容易產(chǎn)生顆粒或未溶解物的殘存，且這些邊膠清洗劑由于添加表面活性劑，邊膠清洗時(shí)，當(dāng)邊膠清洗劑中有空氣時(shí)，邊膠清洗劑就會發(fā)泡，這些泡沫消泡不充分時(shí)就會在邊膠清洗劑中積蓄。隨著在邊膠清洗劑中溶解或分散的光阻成份的增加，邊膠清洗劑中產(chǎn)生泡沫難以消除。這些泡沫阻礙邊膠清洗劑與光阻的接觸，從而引起不能清洗邊膠的問題。另外，對于目前主要使用的噴射清洗，通過噴射將邊膠清洗劑噴射到基板進(jìn)行清洗，在邊膠清洗劑中更容易引起發(fā)泡。

CF制程中用的邊膠清洗劑(EBR)，主要是FuJifilm-Olin，JSR，Toyo?Ink等少數(shù)日本公司所壟斷，表面活性劑加入，會在邊膠清洗劑中凝聚，形成油狀的浮渣，浮渣附在光阻或基板表面，從而導(dǎo)致基材受到污染。而且表面活性劑在其使用初期，雖然具有一定的消泡作用，但是隨著在邊膠清洗劑中分解光阻成分的增加，消泡效果急劇下降。

中國專利200510115433.2公開了一種邊膠清洗劑，含有堿性化合物、表面活性劑和溶劑，其表面活性劑為Demini型表面活性劑，雖然消泡性與穩(wěn)定性不錯(cuò)，但是成本較高，不具有市場竟?fàn)幜Α?/p>

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提供一種彩色濾光片(CF)制程中彩色光刻膠涂膠后邊膠清洗時(shí)所用的邊膠清洗劑。

本發(fā)明的目的通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)：

彩色濾光片制程中用的邊膠清洗劑，其組分具有如下的重量百分比：水溶性有機(jī)胺化合物1～60wt％，苯芳香醇類有機(jī)溶劑1～60wt％，水3～80wt％。

進(jìn)一步地，上述的彩色濾光片制程中用的邊膠清洗劑，其中，所述的水溶性有機(jī)胺化合物是乙醇胺、或者是三乙醇胺、或者是二乙醇胺、或者是其中二者或三者的混合物。

更進(jìn)一步地，上述的彩色濾光片制程中用的邊膠清洗劑，其中，所述的苯芳香醇類有機(jī)溶劑是以下物質(zhì)之一，苯甲醇、苯乙醇、苯丙醇、苯丁醇、苯戊醇、苯己醇或者這六種物質(zhì)的衍生物。

更進(jìn)一步地，上述的彩色濾光片制程中用的邊膠清洗劑，其中，所述的水為電阻高于或等于18MΩ的純水。

再進(jìn)一步地，上述的彩色濾光片制程中用的邊膠清洗劑，其組分：水溶性有機(jī)胺化合物10～50wt％，苯芳香醇類有機(jī)溶劑10～50wt％，水10～40wt％。

本發(fā)明技術(shù)方案突出的實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)和顯著的進(jìn)步主要體現(xiàn)在：