[發明專利]應用于LED激光切割設備的X-Y-θ運動平臺

有效

• 申請號: 200910031353.7
• 申請日: 2009-04-30
• 公開（公告）號: CN101570040A
• 公開（公告）日: 2009-11-04
• 發明（設計）人: 趙裕興;胡劍
• 申請（專利權）人: 蘇州德龍激光有限公司;江陰德飛激光設備有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/04;B23K26/38
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司
• 代理人: 陳忠輝

1.應用于LED激光切割設備的X-Y-θ運動平臺，其特征在于：包括 X-Y軸和θ軸，所述X-Y軸和θ軸均呈中空結構，X-Y軸包含X軸傳送 單元和Y軸傳送單元，X軸傳送單元包含X軸板和控制X軸板運動的直 線馬達，Y軸傳送單元包含Y軸板和控制Y軸板運動的直線馬達，Y軸傳 送單元安裝于X軸傳送單元的X軸板上，在Y軸傳送單元的Y軸板上設 置θ軸，θ軸包括轉軸和控制轉軸旋轉的壓電陶瓷電機，在θ軸的轉軸中 安裝真空吸附模塊，真空吸附模塊的吸附平面高于θ軸轉軸的表面，由θ 軸轉軸驅動真空吸附模塊作旋轉運動，由X-Y軸驅動真空吸附模塊沿X、 Y方向作兩個自由度運動；所述X-Y軸布置在底板上，在底板的底部安裝 有下CCD影像系統，下CCD影像系統透過X-Y軸和θ軸的中空結構與真 空吸附模塊相對。

2.根據權利要求1所述的應用于LED激光切割設備的X-Y-θ運動平 臺，其特征在于：所述Y軸傳送單元通過Y直線滑軌安裝于X軸傳送單 元的X軸板上，所述X軸傳送單元通過X直線滑軌安裝在底板上；并在 底板和X軸板之間設置X光柵尺組，在X軸板和Y軸板之間設置Y光柵 尺組。

3.根據權利要求2所述的應用于LED激光切割設備的X-Y-θ運動平 臺，其特征在于：所述X光柵尺組和Y光柵尺組的分辨率為0.1um。

4.根據權利要求1所述的應用于LED激光切割設備的X-Y-θ運動平 臺，其特征在于：所述真空吸附模塊的材質為透明材料。