[發(fā)明專利]一種氮化鎵基外延膜的激光剝離方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910031266.1
• 申請日: 2009-04-30
• 公開（公告）號: CN101555627A
• 公開（公告）日: 2009-10-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王懷兵;孔俊杰;楊輝;梁秉文
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州納晶光電有限公司
• 主分類號: C30B29/38
• 分類號: C30B29/38;C30B29/40;C30B25/02;C30B33/00
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司
• 代理人: 陶海鋒

1.一種氮化鎵基外延膜的激光剝離方法，其特征在于，包括如下步驟：

(1)在藍(lán)寶石襯底上生長氮化鎵基外延膜，制作劃片槽，分隔形成氮化 鎵基單元器件，然后將所述劃片槽劃穿至藍(lán)寶石襯底表面，在劃片槽中填充 保護(hù)材料；

(2)以金屬層作為中間層，將所述氮化鎵基外延膜連接于高導(dǎo)熱導(dǎo)電襯 底上；所述金屬層為Au層或AuSn合金層；

(3)對激光光斑進(jìn)行整形，將投影在藍(lán)寶石襯底和氮化鎵基外延膜界面 處的光斑處理為圖形化光斑陣列；所述圖形化光斑陣列的光斑直徑為5～200 μm，周期為10～200μm，且其光斑能量為平頂、高斯或近高斯分布；

(4)將上述圖形化光斑陣列透過藍(lán)寶石照射到藍(lán)寶石襯底和氮化鎵界面 處，使界面處的氮化鎵發(fā)生分解，實(shí)現(xiàn)氮化鎵基外延膜與藍(lán)寶石襯底分離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氮化鎵基外延膜的激光剝離方法，其特征在 于：所述步驟(1)中的保護(hù)材料為聚酰亞胺、二氧化硅、環(huán)氧樹脂或絕緣硅膠。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氮化鎵基外延膜的激光剝離方法，其特征在 于：所述步驟(2)中的高導(dǎo)熱導(dǎo)電襯底為Si或Cu襯底。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氮化鎵基外延膜的激光剝離方法，其特征在 于：所述步驟(3)中的圖形化光斑陣列的光斑形狀為矩形或圓形。

5.一種氮化鎵基外延膜的激光剝離方法，其特征在于，包括如下步驟：

(1)在藍(lán)寶石襯底上生長氮化鎵基外延膜；

(2)以膠或者石蠟作為中間層，將上述氮化鎵基外延膜連接于玻璃或者 Si襯底上；所述膠為硅膠或環(huán)氧樹脂；

(3)對激光光斑進(jìn)行整形，將投影在藍(lán)寶石襯底和氮化鎵基外延膜界面 處的光斑處理為圖形化光斑陣列；所述圖形化光斑陣列的光斑直徑為5～200 μm，周期為10～200μm，且其光斑能量為平頂、高斯或近高斯分布；

(4)將上述圖形化光斑陣列透過藍(lán)寶石照射到藍(lán)寶石襯底和氮化鎵界面 處，使界面處的氮化鎵發(fā)生分解，實(shí)現(xiàn)氮化鎵基外延膜與藍(lán)寶石襯底分離；

(5)去除上述玻璃或者Si襯底，即得到氮化鎵基外延膜。