[發明專利]化學氣相淀積材料生長設備的反應源進氣分配方法與裝置有效

申請號：	200910030912.2	申請日：	2009-04-20
公開（公告）號：	CN101519772A	公開（公告）日：	2009-09-02
發明（設計）人：	韓平;吳軍;王榮華;王琦;于樂;俞斐;趙紅;華雪梅;謝自力;修向前;張榮;鄭有炓	申請（專利權）人：	南京大學
主分類號：	C23C16/455	分類號：	C23C16/455
代理公司：	南京天翼專利代理有限責任公司	代理人：	陳建和
地址：	210093江***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	化學氣相淀積材料生長設備反應源進氣分配方法裝置
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【權利要求書】：

1.化學氣相淀積材料生長設備的反應源進氣分配的裝置，其特征是化學氣相淀積材料生長設備的加熱裝置采用射頻感應加熱器，射頻感應加熱器的第一感應件為石墨腔；石墨腔中的基座上放置襯底，石墨腔位于石英管內；分解溫度較低的反應源氣體和分解溫度較高的反應源氣體分別通過石英管封口法蘭后經導引細石英管導入石墨腔的進氣端附近；分解溫度較高的反應源氣體的導引細石英管周圍配置石墨管以構成第二感應件。

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