[發(fā)明專利]單晶爐的結(jié)構(gòu)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910030894.8
• 申請日: 2009-04-20
• 公開（公告）號: CN101550588A
• 公開（公告）日: 2009-10-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 潘燕萍;潘國強
• 申請（專利權(quán)）人: 潘燕萍;潘國強
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 常州市維益專利事務(wù)所
• 代理人: 何學(xué)成

1、單晶爐的結(jié)構(gòu)，其從下至上的主部件依次具有爐底板、爐體、爐蓋、翻 板箱、副爐，其特征在于：爐體、爐蓋、翻板箱、副爐內(nèi)均設(shè)置有流通冷卻液 的夾層，爐底板上設(shè)置有加熱裝置和支撐裝置，加熱裝置和支撐裝置穿入爐體， 該加熱裝置具有一腔體，支撐裝置端部設(shè)置在該腔體內(nèi)，爐體內(nèi)設(shè)置有保溫層 和盛放多晶硅材料的容器，該保溫層設(shè)置在爐體與加熱裝置之間，容器設(shè)置在 支撐裝置端部，爐體頂端設(shè)置有氬氣的導(dǎo)流裝置，翻板箱內(nèi)設(shè)置有翻板閘門裝 置，副爐頂部設(shè)置有提拉機構(gòu)，該提拉機構(gòu)伸入副爐內(nèi)，爐底板底部與翻板箱 側(cè)壁均設(shè)置有真空抽口，爐體、爐蓋、翻板箱、副爐上均設(shè)置有鎂棒接口。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐的結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的加熱裝置由 電極裝置和加熱器組成，加熱器設(shè)置在電極裝置一端，電極裝置另一端設(shè)置在 爐底板上的電極孔座上，所述的腔體是加熱器沿縱軸向環(huán)繞而成中空部分，加 熱器為蛇形石墨加熱器。

3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐的結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的支撐裝置由 容器承托部、支撐軸裝置、支撐驅(qū)動裝置和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置組成，容器承托部設(shè) 置在支撐軸裝置的上端部，所述的容器設(shè)置在容器承托部內(nèi)，支撐驅(qū)動裝置設(shè) 置在支撐軸裝置下端部側(cè)面與支撐軸裝置臺階設(shè)置，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置設(shè)置在支撐 軸裝置下端部另一側(cè)面與支撐軸裝置帶傳動設(shè)置。

4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐的結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的翻板閘門裝 置由翻板閘門、搖臂裝置和可轉(zhuǎn)動的翻板軸組成，搖臂裝置設(shè)置在翻板箱側(cè)壁， 翻板軸設(shè)置在翻板箱內(nèi)，翻板閘門設(shè)置在翻板軸上。

5、根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐的結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的提拉機構(gòu)由 提拉頭、控制提拉頭軸向升降的升降驅(qū)動裝置和控制提拉頭周向轉(zhuǎn)動的第二旋 轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置構(gòu)成，提拉頭和升降驅(qū)動裝置之間通過鋼絲連接，第二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝 置與鋼絲之間帶傳動設(shè)置。

6、根據(jù)權(quán)利要求3所述的單晶爐的結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的支撐軸裝置 由支撐軸套、傳動軸套以及支撐軸組成，支撐軸套固定設(shè)置在爐底板上，傳動 軸套設(shè)置在支撐軸的端部，支撐軸與支撐軸套間隙配合，傳動軸套與支撐軸間 隙配合并軸向臺階設(shè)置，支撐軸套與傳動軸套之間設(shè)置有若干復(fù)位彈簧，所述 的支撐驅(qū)動裝置與傳動軸套之間臺階設(shè)置，所述的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置與支撐軸端部 之間設(shè)置有傳動帶。

7、根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐的結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的導(dǎo)流裝置由 設(shè)置在爐體壁上的支架和設(shè)置在支架上的漏斗狀導(dǎo)流環(huán)組成，導(dǎo)流環(huán)設(shè)置在容 器正上方。

8、根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐的結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的容器為坩堝， 所述的爐底板與爐體之間、爐體與爐蓋之間、爐蓋與翻板箱之間、翻板箱與副 爐之間均通過法蘭連接。

9、根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐的結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的爐蓋上設(shè)置 有氬氣的充氣口、測徑儀窗和觀察窗。