[發(fā)明專利]熱敏表面剪切應(yīng)力傳感器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910029924.3
• 申請日: 2009-03-27
• 公開（公告）號: CN101520351A
• 公開（公告）日: 2009-09-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃欽文;蘇巖;裘安萍;明曉
• 申請（專利權(quán)）人: 南京理工大學(xué)
• 主分類號: G01L1/20
• 分類號: G01L1/20;G01N13/00;B81B7/02;B81C5/00
• 代理公司: 南京理工大學(xué)專利中心
• 代理人: 唐代盛

1.一種熱敏表面剪切應(yīng)力傳感器，其特征在于包括加熱/熱敏線圈(1)、支撐薄膜(2)、隔熱溝(3a，3b，3c，3d)、支撐梁(4a，4b，4c，4d)、熱敏電極(5a，5b，5c，5d，5e，5f，5g，5h)、電絕緣薄膜(6)、硅襯底(7)和引線電極(8)，通過淀積在所述的硅襯底(7)表面形成支撐薄膜(2)和電絕緣薄膜(6)，該支撐薄膜(2)下面的襯底被刻蝕掉，并對加熱/熱敏線圈(1)起支撐作用；該支撐薄膜(2)和電絕緣薄膜(6)通過支撐梁(4a，4b，4c，4d)連接，并在電絕緣薄膜(6)上制備出相互獨(dú)立的熱敏電極(5a，5b，5c，5d，5e，5f，5g，5h)，該熱敏電極(5a，5b，5c，5d，5e，5f，5g，5h)均勻分布在所述加熱/熱敏線圈(1)的外邊緣，在該加熱/熱敏線圈(1)與熱敏電極(5a，5b，5c，5d，5e，5f，5g，5h)之間為隔熱溝(3a，3b，3c，3d)，同時該加熱/熱敏線圈(1)與熱敏電極(5a，5b，5c，5d，5e，5f，5g，5h)分別通過引線電極(8)與外部電路相連；支撐薄膜(2)和加熱/熱敏線圈(1)均為圓形。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱敏表面剪切應(yīng)力傳感器，其特征在于：使用剝離法在電絕緣薄膜(6)上制備出熱敏電極(5a，5b，5c，5d，5e，5f，5g，5h)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱敏表面剪切應(yīng)力傳感器，其特征在于：加熱/熱敏線圈(1)由多晶硅或者Pt/Ti構(gòu)成。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱敏表面剪切應(yīng)力傳感器，其特征在于：支撐薄膜(2)由二氧化硅，或氮化硅，或者二氧化硅和氮化硅兩者構(gòu)成。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱敏表面剪切應(yīng)力傳感器，其特征在于：支撐梁(4a，4b，4c，4d)為四根，所有的支撐梁(4a，4b，4c，4d)均勻分布在支撐薄膜(2)的四周，并且支撐梁(4a，4b，4c，4d)所在的直線通過支撐薄膜(2)的圓心，同時所述加熱/熱敏線圈(1)的電連接線通過支撐梁(4a，4b，4c，4d)中不相鄰的兩根支撐梁與引線電極(8)相連。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱敏表面剪切應(yīng)力傳感器，其特征在于：熱敏電極(5a，5b，5c，5d，5e，5f，5g，5h)形狀為等長弧段，該弧段與加熱/熱敏線圈(1)具有相同圓心。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱敏表面剪切應(yīng)力傳感器，其特征在于：隔熱溝(3a，3b，3c，3d)為圓形，與加熱/熱敏線圈(1)具有相同圓心。