[發明專利]諧振式微機電系統磁場傳感器及測量方法

無效

• 申請號: 200910029903.1
• 申請日: 2009-03-20
• 公開（公告）號: CN101515026A
• 公開（公告）日: 2009-08-26
• 發明（設計）人: 陳潔;黃慶安;秦明;李成章
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01R33/02
• 分類號: G01R33/02;B81B7/02;B81C5/00
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司
• 代理人: 葉連生

1.一種諧振式微機電系統磁場傳感器，其特征在于該傳感器包括襯底(4)、第一支撐板(31)、第二支撐板(32)、懸臂板(3)和金屬線(2)，懸臂板(3)由第一支撐板(31)、第二支撐板(32)連接在襯底(4)的兩側的凸臺上，平行懸空設于襯底(4)的上方，金屬線(2)設于懸臂板(3)上表面，從第二支撐板(32)進入懸臂板(3)，且繞其一周，從第二支撐板(32)的同側繞出，為了讓結構對稱，在另一側的第一支撐板(31)上鍍有第一金屬線(21)和第二金屬線(22)，金屬線(2)、第一金屬線(21)和第二金屬線(22)與懸臂板(3)同步運動。

2.根據權利要求1所述的諧振式微機電系統磁場傳感器，其特征在于所述金屬線(2)被設于懸臂板(3)的邊緣四周和固支的第二支撐板(32)上，金屬線(2)通過測量錨區(1)連接在襯底(4)上。

3.一種如權利要求1所述的諧振式微機電系統磁場傳感器的測量方法，其特征在于，首先施加外加激勵使得懸臂板(3)產生振動，激勵分別用來產生與懸臂板(3)一階和二階激勵頻率相同的共振，結構在一階和二階頻率共振時，方向相差90度，測量任意磁場方向下懸臂板(3)上p點的位移，用來測量外加磁場的角度。

4.根據權利要求3所述的諧振式微機電系統磁場傳感器的測量方法，其特征在于，所述懸臂板(3)與襯底(4)絕緣，懸臂板(3)上表面四周鍍有金屬線(2)，所述外加激勵的方法為：在金屬線(2)上加上交流電流信號使其振動，電流頻率分別為結構一階和二階諧振頻率。