[發(fā)明專(zhuān)利]一種具有溫度調(diào)控的超薄的多通道太赫茲濾波器

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910025793.1
• 申請(qǐng)日: 2009-03-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101504997A
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-08-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 彭茹雯;吳昕;高峰;胡青;李德;林濤;王牧
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 南京大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): H01P1/20
• 分類(lèi)號(hào): H01P1/20
• 代理公司: 南京經(jīng)緯專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 樓高潮

1、一種具有溫度調(diào)控的超薄的多通道太赫茲濾波器，由襯底和銻化銦薄膜材料構(gòu)成，其特征在于首先將襯底材料的表面制作成有周期起伏的正弦曲面，然后在襯底表面的正弦曲面上生長(zhǎng)一層厚度為1.85-2.15微米的銻化銦薄膜，該多通道太赫茲濾波器，具有在電磁波頻率為0.1至3太赫茲的范圍內(nèi)獲得五個(gè)共振透射峰，并且這五個(gè)共振模式的頻率從325K降至225K溫度范圍內(nèi)頻率誤差不超過(guò)1％，但相應(yīng)的透射率隨溫度降低而增加，其透射率高達(dá)90％～93％。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的多通道太赫茲濾波器，其特征在于所述的襯底材料為高阻抗單晶硅或砷化鎵。

3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的多通道太赫茲濾波器，其特征在于所述的襯底材料表面用光刻蝕技術(shù)制作成有周期起伏的正弦曲面，該正弦曲面的周期為735-765微米，表面起伏幅度為136-164微米。

4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的多通道太赫茲濾波器，其特征在于所述的銻化銦薄膜材料是無(wú)摻雜銻化銦材料。