[發明專利]金屬/介質多層薄膜結構10.6μm紅外波段的光極化分離器

無效

• 申請號: 200910025095.1
• 申請日: 2009-02-18
• 公開（公告）號: CN101477287A
• 公開（公告）日: 2009-07-08
• 發明（設計）人: 趙林;馮一軍;左鈺;郝玙;姜田
• 申請（專利權）人: 南京大學
• 主分類號: G02F1/29
• 分類號: G02F1/29
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1、一種金屬/介質多層薄膜結構10.6μm紅外波段的光極化分離器，其特征是該光極化分離器包括一個二氧化硅為基底(1)，碳化硅薄膜(2)和二氧化硅薄膜(3)交替組合敷設在二氧化硅基底上。光從左邊入射后，根據極化的不同(TE/TM)形成不同的光路從右邊透射出，實現極化分離的功能。

2、根據權利要求1所述的金屬/介質多層薄膜結構10.6μm紅外波段的光極化分離器，其特征是一個碳化硅薄膜(2)和二氧化硅薄膜(3)組合單元的厚度應遠小于所應用波段的波長，且至少要20個單元。

3、根據權利要求1所述的金屬/介質多層薄膜結構10.6μm紅外波段的光極化分離器，其特征是碳化硅薄膜(2)和二氧化硅薄膜(3)的厚度具有一個合適的比例a，且相同材料的薄膜厚度相等。

4、根據權利要求1所述的金屬/介質多層薄膜結構10.6μm紅外波段的光極化分離器，其特征是根據α來確定薄膜的取向θ。