[發明專利]c-取向排列ZnO: Al薄膜的制備方法

無效

• 申請號: 200910023727.0
• 申請日: 2009-08-28
• 公開（公告）號: CN101650990A
• 公開（公告）日: 2010-02-17
• 發明（設計）人: 賀海燕;曹麗云;黃劍鋒;吳建鵬;于慧陽
• 申請（專利權）人: 陜西科技大學
• 主分類號: H01B13/00
• 分類號: H01B13/00;H01B5/14;B05D7/24;B05D1/38;B05D3/02
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司
• 代理人: 徐文權

1、一種c-取向排列ZnO:Al薄膜的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)先驅體溶液的配制：按Zn_0.99Al_0.01O化學式將硝酸鋅或乙酸鋅與硝酸鋁、乙酸鋁或氯化鋁溶入冰乙酸中，然后再加入乙二醇和三乙醇胺，溶液中的金屬離子摩爾比為：乙二醇∶三乙醇胺＝1∶2∶5-10，再用冰乙酸調節溶液中鋅離子的濃度至0.01mol/l，用質量濃度為35％-37％的鹽酸調節溶液的pH＜5得到先驅體溶液；

2)涂膜：采用浸涂或旋涂工藝將先驅體溶液涂敷在基片上，每次涂敷后將其在120℃干燥，反復上述的涂敷和干燥過程直至得到要求厚度的薄膜；

3)退火：將涂膜后的基片自室溫以大于200℃/min的升溫速率升溫至650-750℃退火60min或直接將涂膜后的基片放入650-750℃的高溫爐中退火60min后自然冷卻得到c-取向排列ZnO:Al薄膜。

2、根據權利要求1所述的c-取向排列ZnO:Al薄膜的制備方法，其特征在于：為了降低先驅體溶液的粘度，將先驅體溶液在60-80℃凝膠化30-60min。

3、根據權利要求1所述的c-取向排列ZnO:Al薄膜的制備方法，其特征在于：所說的基片采用石英玻璃基片，涂膜前用無水乙醇和丙酮分別超聲清洗15-30min，風干。