[發明專利]一種Bi3.2La0.8Ti3O12鐵電薄膜的制備方法

無效

• 申請號: 200910023721.3
• 申請日: 2009-08-28
• 公開（公告）號: CN101654779A
• 公開（公告）日: 2010-02-24
• 發明（設計）人: 賀海燕;曹麗云;黃劍鋒;吳建鵬;于慧陽
• 申請（專利權）人: 陜西科技大學
• 主分類號: C23C20/08
• 分類號: C23C20/08;C04B35/462;C04B41/50;H01L21/8239;H01L21/8242;H01L41/24;B05D1/38;H01F10/18;H01F41/24
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司
• 代理人: 徐文權

1、一種Bi_3.2La_0.8Ti₃O₁₂鐵電薄膜的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)制備先驅體溶液：

首先，按Bi_3.2La_0.8Ti₃O₁₂化學式分別取硝酸鉍或乙酸鉍，硝酸鑭或乙酸鑭和鈦酸丁酯或鈦酸四丁酯，然后將硝酸鉍或乙酸鉍和硝酸鑭或乙酸鑭溶解于冰乙酸中得到溶液A，再向溶液A中加入溶液A中硝酸鉍或乙酸鉍質量5～10％的硝酸鉍或乙酸鉍之后用鹽酸調節pH＜3得溶液B；

其次，將鈦酸丁酯或鈦酸四丁酯溶于冰乙酸中得到溶液C，再向溶液C中加入乙酰丙酮得到溶液D；

最后，將溶液B和溶液D混合，再向混合溶液中加入乙二醇和檸檬酸后用冰乙酸調節混合溶液的濃度至金屬離子Ti⁴⁺的摩爾濃度為0.01mol/l得到先驅體溶液，先驅體溶液中金屬離子∶乙二醇∶檸檬酸∶乙酰丙酮＝1∶(1～4)∶(1～2)∶0.1；

2)涂膜：采用浸涂或旋涂工藝將先驅體溶液涂敷在基片上，每次涂敷后將其在120-150℃干燥，反復上述的涂敷和干燥過程直至得到要求厚度的薄膜；

3)退火：

將涂膜后的基片自室溫以200～300℃/min的升溫速率升溫至650～1000℃退火3min或直接將涂膜后的基片放入650-1000℃的高溫爐中退火3min后立即從爐中取出冷卻得到c-取向Bi_3.2La_0.8Ti₃O₁₂鐵電薄膜；

或將涂膜后的基片在350-400℃預熱處理10min后以大于200～300℃/min的升溫速率升溫至650-750℃退火3-60min得到a-取向Bi_3.2La_0.8Ti₃O₁₂鐵電薄膜。

2、根據權利要求1所述的Bi_3.2La_0.8Ti₃O₁₂鐵電薄膜的制備方法，其特征在于：為了降低先驅體溶液的粘度，將先驅體溶液在60-80℃凝膠化30-60min。

3、根據權利要求1所述的Bi_3.2La_0.8Ti₃O₁₂鐵電薄膜的制備方法，其特征在于：所說的基片采用單晶硅基片，涂膜前用無水乙醇和丙酮分別對單晶硅基片超聲清洗后風干。