[發(fā)明專(zhuān)利]一種復(fù)合納米金剛石薄膜電子發(fā)射陰極的制備方法無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200910022970.0 | 申請(qǐng)日： | 2009-06-18 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN101587805A | 公開(kāi)（公告）日： | 2009-11-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張秀霞;魏舒怡;盧秉恒 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 西安交通大學(xué) |
| 主分類(lèi)號(hào)： | H01J9/02 | 分類(lèi)號(hào)： | H01J9/02 |
| 代理公司： | 西安通大專(zhuān)利代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 惠文軒 |
| 地址： | 710049陜*** | 國(guó)省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 復(fù)合 納米 金剛石 薄膜 電子 發(fā)射 陰極 制備 方法 | ||
1.一種復(fù)合納米金剛石薄膜電子發(fā)射陰極的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
a、分別研磨納米金剛石和納米石墨，散開(kāi)其團(tuán)聚體，然后將納米石墨、納米金剛石、乙基纖維素按重量比2∶6∶8的比例混合作為溶質(zhì)；
b、按重量比1∶3的比例將溶質(zhì)加入松油醇溶劑中，超聲分散7小時(shí)，再在390K下加熱攪拌，再次過(guò)400目篩后，自然冷卻至室溫，得納米金剛石漿料待用；
c、選擇350目的金屬絲網(wǎng)，絲網(wǎng)印刷納米金剛石漿料在導(dǎo)電襯底上，然后熱燒結(jié)處理，所述導(dǎo)電襯底為不銹鋼板；
d、熱燒結(jié)處理時(shí)，先升溫至340K后保持15分鐘，再升溫至420K后保持110分鐘，然后升溫至580后保持55分鐘，最后自然冷卻至室溫，得燒結(jié)后復(fù)合納米金剛石薄膜待用；
e、將燒結(jié)后復(fù)合納米金剛石薄膜表面進(jìn)行氫等離子體處理；
f、最后，在導(dǎo)電襯底上引出陰極電極，即得復(fù)合納米金剛石薄膜電子發(fā)射陰極。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種復(fù)合納米金剛石薄膜電子發(fā)射陰極的制備方法，其特征在于，制作溶質(zhì)時(shí)，將乙基纖維素經(jīng)過(guò)研磨后，與納米金剛石、納米石墨混合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種復(fù)合納米金剛石薄膜電子發(fā)射陰極的制備方法，其特征在于，所述氫等離子體處理是借助壓縮空氣以0.50-0.70W/cm2將氫等離子體噴向熱燒結(jié)后的復(fù)合納米金剛石薄膜表面，保持時(shí)間為1.0-1.5分鐘。
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