[發明專利]直熱式碳納米管氣體傳感器及敏感膜的制備方法

無效

• 申請號: 200910022513.1
• 申請日: 2009-05-14
• 公開（公告）號: CN101556257A
• 公開（公告）日: 2009-10-14
• 發明（設計）人: 李昕;朱長純;劉君華;劉衛華
• 申請（專利權）人: 西安交通大學
• 主分類號: G01N27/12
• 分類號: G01N27/12
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司
• 代理人: 陳翠蘭

1、一種直熱式碳納米管敏感膜氣體傳感器，包括碳納米管復合敏感膜、叉指電極和傳感器襯底，傳感器襯底上設置叉指電極，叉指電極上設置氣體敏感膜，其特征在于，所述的氣體敏感膜是碳納米管復合薄膜(14)，所述的叉指電極是直熱式叉指電極(15，16，19)，所述的傳感器襯底是傳感器絕緣襯底(17)，同邊的直熱式叉指電極(1～6或7～12)所有指條之間相互串聯，形成加熱電流回路。

2、根據權利要求1所述的直熱式碳納米管敏感膜氣體傳感器，其特征在于，直熱式叉指電極與氣體敏感膜位于傳感器絕緣襯底(17)同側。

3、根據權利要求1所述的直熱式碳納米管敏感膜氣體傳感器，其特征在于，所述直熱式叉指電極(15，16，19)成對出現，作為信號拾取電極，信號拾取時采用并聯結構。

4、根據權利要求1所述的直熱式碳納米管敏感膜氣體傳感器，其特征在于，其直熱式叉指電極(15，16，19)材料采用鎳、鉻、銅或鎢及其二元或者多元合金或混合物。

5、根據權利要求2所述直熱式碳納米管敏感膜氣體傳感器，其特征在于，碳納米管復合敏感膜采用的是定向的或是無序的碳納米管。

6、根據權利要求1所述的直熱式碳納米管敏感膜氣體傳感器，其特征在于，所述的碳納米管復合敏感膜采用單壁碳納米管，或多壁碳納米管，或既有單壁碳納米管也有多壁碳納米管。

7、根據權利要求1所述的直熱式碳納米管敏感膜氣體傳感器，其特征在于，傳感器絕緣襯底(17)材料為剛性絕緣材料或是柔性絕緣材料。

8、根據權利要求1所述的直熱式碳納米管敏感膜氣體傳感器，其特征在于，所述傳感器絕緣襯底材料為無機絕緣材料，或非導電聚合物聚四氟乙烯、聚酰亞胺。

9、一種如權利要求1所述的直熱式碳納米管敏感膜氣體傳感器的碳納米管復合敏感膜的制備方法，其特征在于，

將2.5g～3g碳納米管均勻分散于100ml松油醇中，低速磁力攪拌5分鐘，再超聲震蕩5分鐘，加入3.5g～5g乙基纖維素和5g二氧化硅納米粉末，

升溫至120℃，低速磁力攪拌5分鐘，再超聲震蕩5分鐘；重復該步驟三次完全均勻分散，獲得碳納米管復合漿料，

采用常規微壓印工藝，將碳納米管復合漿料移植在直熱式叉指電極上成膜，完成碳納米管復合敏感膜的制備，室溫下晾干，之后在干燥箱內120℃烘烤，去除有部分機物殘留，最后在氬氣保護下350℃退火，徹底去除有機殘留。