[發明專利]一種聲表面波諧振式壓力傳感器無效
| 申請號： | 200910022056.6 | 申請日： | 2009-04-16 |
| 公開（公告）號： | CN101865747A | 公開（公告）日： | 2010-10-20 |
| 發明（設計）人： | 何鵬舉 | 申請（專利權）人： | 西安高科衛光電子有限公司 |
| 主分類號： | G01L9/00 | 分類號： | G01L9/00;H03H9/25 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 710065 陜西省西安市太白南路18*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 表面波 諧振 壓力傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種聲表面波諧振式壓力傳感器，包括2個諧振器、頻率經混頻器、低通濾波器、放大器和叉指換能器，其特征在于：兩個諧振器分別連接到放大器的反饋回路中，構成具有一定輸出頻率的振蕩器，兩路輸出的頻率經混頻、低通濾波和放大，得到一個與外加壓力一一對應的差頻輸出。
2.根據利用權利要求1所述的一種聲表面波諧振式壓力傳感器，其特征在于：所述的叉指換能器，其特征在于：是一個由熱蒸發或濺射工藝制作在壓電基片上的交互連接的兩端器件。
3.根據利用權利要求2所述的一種聲表面波諧振式壓力傳感器，其特征在于：所述的聲表面波壓力傳感器的壓電基片，是在同一圓形石英晶體膜片上制備二個完全相同的聲表面波諧振器。
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