[發(fā)明專利]一種鈰摻雜納米鍶鐵氧體薄膜及其制備方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200910021807.2 | 申請(qǐng)日： | 2009-04-01 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN101565326A | 公開（公告）日： | 2009-10-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 黃英;李玉青;齊暑華;牛芳芳;楊永峰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 西北工業(yè)大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | C04B41/50 | 分類號(hào)： | C04B41/50 |
| 代理公司： | 西北工業(yè)大學(xué)專利中心 | 代理人： | 王鮮凱 |
| 地址： | 710072陜*** | 國(guó)省代碼： | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 摻雜 納米 鐵氧體 薄膜 及其 制備 方法 | ||
1.一種制備鈰摻雜納米鍶鐵氧體薄膜的方法，其特征在于配方為：硝酸鐵 2.15g/100ml、硝酸鍶0.125g/100ml、硝酸鈰0.05～0.21g/100ml、乙二醇 1.87～1.98g/100ml、檸檬酸3.17～3.35g/100ml；制備步驟如下：
步驟1：將硝酸鍶和硝酸鈰放入A容器中，加入蒸餾水使溶液黏度為2～4mPa·s， 攪拌至完全溶解；
步驟2：將硝酸鐵放入B燒杯中，加入蒸餾水使溶液黏度為2～4mPa·s，攪拌至完 全溶解；
步驟3：將檸檬酸加入B燒杯中，攪拌至完全溶解；
步驟4：將A容器中的物質(zhì)加入B燒杯中，攪拌30min；緩慢加入乙二醇，繼續(xù) 攪拌，并使溫度控制在70～80℃之間，進(jìn)行自然蒸發(fā)得到黏度范圍在4～12mPa·s的 溶膠；
步驟5、將二氧化硅基片放入溶膠中浸泡，采用浸漬-提拉法涂膜；以2～2.5mm/s 的速率垂直向上提拉出液面，形成濕凝膠膜，在50℃～60℃下進(jìn)行干燥制得干凝膠膜；
步驟6、在370℃～400℃將步驟5得到的薄膜進(jìn)行預(yù)燒25～35分鐘；
步驟7、重復(fù)操作步驟5和步驟6，循環(huán)10到15次得到薄膜厚度80～120nm時(shí)進(jìn) 行下一步驟；
步驟8、將步驟7得到的薄膜在900℃焙燒兩小時(shí)，得到鈰摻雜鍶鐵氧體薄膜。
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