[發(fā)明專利]一種三氯氫硅合成尾氣回收方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200910021719.2 | 申請日： | 2009-03-27 |
| 公開（公告）號： | CN101538043A | 公開（公告）日： | 2009-09-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 陳維平;鄭開學(xué) | 申請（專利權(quán)）人： | 華陸工程科技有限責(zé)任公司 |
| 主分類號： | C01B33/107 | 分類號： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 西安文盛專利代理有限公司 | 代理人： | 佘文英 |
| 地址： | 710071*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 三氯氫硅 合成 尾氣 回收 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種三氯氫硅合成尾氣回收方法，其特征是來自冷凝系統(tǒng)的合成尾氣進入HCl吸收塔(T-101)，來自HCl精餾塔(T-102)塔釜的氯硅烷經(jīng)冷卻至低溫后作為吸收液進入HCl吸收塔(T-101)，在這里HCl被低溫的液態(tài)氯硅烷流體吸收，塔釜氯硅烷和來自冷凝系統(tǒng)的氯硅烷液體混合后進入HCl精餾塔(T-102)，在HCl精餾塔(T-102)中HCl以氣態(tài)的形式從塔頂采出，進入三氯氫硅合成裝置回收利用，HCl精餾塔(T-102)塔底采出的氯硅烷經(jīng)冷卻后一部分作為粗單體去精餾，剩余部分經(jīng)進一步冷卻后作為HCl吸收塔(T-101)的吸收液循環(huán)使用，從HCl吸收塔(T-101)塔頂分離出來的H2經(jīng)活性碳吸附罐(V-101)吸附氯硅烷后重新進入HCl合成裝置達到回收利用的目的；
其中吸收壓力為0.8MPa，吸收液溫度為-40℃，吸收液是來自冷凝系統(tǒng)的氯硅烷液體。?
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