[發明專利]一種周期可調微機械光柵及其制作工藝

無效

• 申請號: 200910021322.3
• 申請日: 2009-02-27
• 公開（公告）號: CN101493578A
• 公開（公告）日: 2009-07-29
• 發明（設計）人: 苑偉政;虞益挺;喬大勇;孫瑞康;燕斌
• 申請（專利權）人: 西北工業大學
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;B81C1/00
• 代理公司: 西北工業大學專利中心
• 代理人: 夏維力

1.一種周期可調微機械光柵，由基底和結構層組成，結構層通過錨點(3)懸置于基底上；結構層為可刻蝕可鍵合的導電材料，結構層包括若干等距平行的光柵柵條(8)、彈性支撐梁(9)和連接梁(10)，每相鄰的兩根光柵柵條(8)通過兩側的折疊U形連接梁(10)進行連接，兩端的兩根光柵柵條(8)通過彈性支撐梁(9)連接到錨點(3)上，驅動器(7)與一端的光柵柵條(8)連接，帶動光柵柵條(8)沿著與柵條垂直的方向往復運動；基底上有金屬薄膜作為電極及引線，使得驅動器(7)通過金屬薄膜與外界連接，從而給驅動器(7)供電，其特征在于：所述的基底為絕緣透明材料。

2.一種如權利要求1所述的周期可調微機械光柵，其特征在于：所述的驅動器(7)為靜電梳齒驅動器。

3.一種如權利要求1所述的周期可調微機械光柵，其特征在于：所述的基底材料為玻璃或藍寶石。

4.一種如權利要求1所述的周期可調微機械光柵，其特征在于：所述的結構層材料為硅或砷化鎵。

5.一種如權利要求1所述的周期可調微機械光柵，其特征在于：所述的金屬薄膜材料為金或鋁。

6.一種如權利要求1所述的周期可調微機械光柵的制作方法，包括如下工藝步驟：

步驟1：在絕緣透明材料基底(1)表面淀積一層金屬薄膜(2)；

步驟2：在結構材料的一側刻蝕出一定高度的錨點(3)；

步驟3：將由步驟1和步驟2得到的結構通過錨點(3)鍵合在一起，并將結構材料減薄至所需厚度；

步驟4：對結構材料進行刻蝕、釋放形成結構層部分，形成周期可調的微機械光柵，所述的周期可調微機械光柵由基底和結構層組成，結構層通過錨點(3)懸置于基底上；結構層為可刻蝕可鍵合的導電材料，結構層包括若干等距平行的光柵柵條(8)、彈性支撐梁(9)和連接梁(10)，每相鄰的兩根光柵柵條(8)通過兩側的折疊U形連接梁(10)進行連接，兩端的兩根光柵柵條(8)通過彈性支撐梁(9)連接到錨點(3)上，驅動器(7)與一端的光柵柵條(8)連接，帶動光柵柵條(8)沿著與柵條垂直的方向往復運動；基底上有金屬薄膜作為電極及引線，使得驅動器(7)通過金屬薄膜與外界連接，從而給驅動器(7)供電。