[發明專利]全自動標準氣體配制裝置有效
| 申請號: | 200910017796.0 | 申請日: | 2009-09-04 |
| 公開(公告)號: | CN101708442A | 公開(公告)日: | 2010-05-19 |
| 發明(設計)人: | 畢海成;王志廣 | 申請(專利權)人: | 山東中惠儀器有限公司 |
| 主分類號: | B01F15/04 | 分類號: | B01F15/04;B01F3/02 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 255088 山東省*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 全自動 標準 氣體 配制 裝置 | ||
1.一種全自動標準氣體配制裝置,包括計算機(1)、設有電磁閥的高壓底氣氣路、設有質量流量計(2)和電磁閥的原料氣氣路、恒溫室(3)、標準氣體配氣瓶(4)、真空泵(5)、溫度測量儀(6)、壓力傳感器(7)和若干電磁閥,其特征在于:在恒溫室(3)內增設六通閥(8)和定量管(9),其中六通閥(8)的⑤端、⑥端對應接定量管(9)的兩端,④端通過第七電磁閥F7接真空泵(5),③端通過原料氣氣路接原料氣,①端接設有第一電磁閥F1和第二電磁閥F2的高壓底氣氣路,②端依次經過設有第四電磁閥F4和第六電磁閥F6的氣路接真空泵(5)、依次經過設有第四電磁閥F4和第三電磁閥F3的氣路接第一電磁閥F1和第二電磁閥F2之間的氣路、依次經過設有第四電磁閥F4和第五電磁閥F5的氣路接標準氣體配氣瓶(4),壓力傳感器(7)設置在第五電磁閥F5與標準氣體配氣瓶(4)之間的氣路上,溫度測量儀(6)、質量流量計(2)、壓力傳感器(7)的輸出端均接計算機(1)。
2.如權利要求1所述的全自動標準氣體配制裝置,其特征在于:原料氣氣路為設有質量流量計(2)和第八電磁閥F8的一路,輸出端接六通閥(8)的③端。
3.如權利要求1所述的全自動標準氣體配制裝置,其特征在于:原料氣氣路為多路,每一路上均設有質量流量計(2)和第八電磁閥F8,輸出端均接六通閥(8)的③端。
4.如權利要求1所述的全自動標準氣體配制裝置,其特征在于:恒溫室(3)采用恒溫氣室,配制標準氣體時恒溫室(3)的溫度恒定50℃。
5.如權利要求1所述的全自動標準氣體配制裝置,其特征在于:標準氣體配氣瓶(4)設置在設有溫度測量儀(6)的容器(10)內。
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